您的位置： 专家智库 > >

廖鑫

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子清洗
  • 1篇电路
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇集成电路
  • 1篇封装
  • 1篇封装工艺

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇廖鑫
  • 1篇师筱娜
  • 1篇柳国光

传媒

  • 1篇国防制造技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
微波等离子清洗技术及应用被引量：7
2012年
集成电路封装过程中,会产生各类污染物,包括氟、镍、光刻胶、环氧树脂和氧化物等,其存在会降低产品质量。微波等离子清洗技术作为一种精密干法清洗技术,可以有效去除这些污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量。本文介绍了微波频等离子清洗原理、设备及其应用,并对清洗前后的效果做了对比。
师筱娜柳国光廖鑫
关键词：等离子清洗微波等离子体集成电路封装工艺
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0