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刘学峰

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 2篇多波
  • 2篇照明
  • 2篇照明系统
  • 2篇遮光
  • 2篇振动方式
  • 2篇双折射
  • 2篇探测器
  • 2篇投影物镜
  • 2篇偏振
  • 2篇驱动器
  • 2篇物镜
  • 2篇误差源
  • 2篇均匀性
  • 2篇剪切
  • 2篇剪切干涉
  • 2篇剪切干涉仪
  • 2篇光轴
  • 2篇干涉仪
  • 2篇波像差
  • 2篇补偿装置

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇刘学峰
  • 4篇林妩媚
  • 4篇邢廷文
  • 4篇何毅
  • 4篇甘大春
  • 2篇陈红丽
  • 2篇范真节
  • 2篇张海波
  • 2篇卢亮
  • 2篇廖志杰
  • 2篇刘志祥
  • 2篇吕保斌

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种投影物镜波像差检测装置及方法
一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
文献传递
一种偏振和双折射测量系统
本发明提供一种偏振和双折射测量系统，通过采用多波片组合以提高偏振和应力双折射的测量精度，其中，光源模块：包括光源和准直扩束系统，起偏器，待测样品。光信号调制模块：包括多级相差共轴波片、检偏器、步进电机驱动卡，步进电机。数...
范真节林妩媚邢廷文刘学峰
一种投影物镜波像差检测装置及方法
一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
文献传递
一种光瞳均匀性补偿装置
本发明是一种光瞳均匀性补偿装置，包括侧壁和多个补偿单元，每个补偿单元包括第一驱动器、第一驱动机构、第一遮光组件和第二遮光组件；其中：在侧壁上设置有多个导轨槽；多个补偿单元沿着侧壁外侧均匀分布，且第一遮光组件位于第一驱动器...
甘大春张海波邢廷文林妩媚刘学峰廖志杰何毅卢亮
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一种偏振和双折射测量系统
本发明提供一种偏振和双折射测量系统，通过采用多波片组合以提高偏振和应力双折射的测量精度，其中，光源模块：包括光源和准直扩束系统，起偏器，待测样品。光信号调制模块：包括多级相差共轴波片、检偏器、步进电机驱动卡，步进电机。数...
范真节林妩媚邢廷文刘学峰
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一种光瞳均匀性补偿装置
本发明是一种光瞳均匀性补偿装置，包括侧壁和多个补偿单元，每个补偿单元包括第一驱动器、第一驱动机构、第一遮光组件和第二遮光组件；其中：在侧壁上设置有多个导轨槽；多个补偿单元沿着侧壁外侧均匀分布，且第一遮光组件位于第一驱动器...
甘大春张海波邢廷文林妩媚刘学峰廖志杰何毅卢亮
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