俞健
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：电子科技大学电子科学技术研究院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金电子科技大学中青年学术带头人培养计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 高调谐BST薄膜制备及介电性能研究被引量：2
- 2011年
- 用改进的溶胶凝胶(sol-gel)法逐层制备钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究中间热处理(preheating,PT)对薄膜结构及介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,BST薄膜主要沿(110)方向生长,对应立方钙钛矿结构,PT使晶化增强.X射线光电子能谱(XPS)表明,PT促使表面非钙钛矿结构向钙钛矿结构转变.原子力显微镜(AFM)和介电性能测试表明,随着PT频次的增加,薄膜形貌改善,表面粗糙度降低,介电调谐率大幅度提高,其中,在20V偏压下逐层PT的薄膜对应超过55%的调谐率.对奇数层进行PT的薄膜对应适中的电容、较小的介电损耗及在20V偏压下接近50%的调谐率,显著提高了综合介电性能,能很好满足微波调谐器件的要求.同时,就有关PT高调谐机理进行了讨论.
- 俞健廖家轩金龙魏雄邦汪澎尉旭波徐自强
- 关键词：溶胶凝胶法钛酸锶钡
