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赵济美

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：青岛科技大学材料科学与工程学院更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇热丝
  • 2篇热丝化学气相...
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 1篇等离子体
  • 1篇碳源
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇表面形貌
  • 1篇不同碳源
  • 1篇沉积速率

机构

  • 2篇青岛科技大学

作者

  • 2篇赵济美
  • 1篇石玉龙
  • 1篇丁发柱

传媒

  • 1篇青岛科技大学...

年份

  • 2篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
热丝化学气相沉积金刚石膜及碳氮膜的研究
本文主要以乙醇为碳源，在热丝化学气相沉积设备中制备金刚石薄膜。围绕金刚石薄膜的形核与生长，研究了乙醇用量、基体温度、反应压强对金刚石薄膜的形核密度、沉积速率和表面形貌的影响。本文运用正交实验研究了在乙醇用量为3.0-5....
赵济美
关键词：金刚石薄膜沉积速率气相沉积表面形貌
文献传递
不同碳源对金刚石薄膜制备的影响
2007年
采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置,分别用甲烷和乙醇为碳源进行了金刚石薄膜的制备。并运用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试手段对沉积的金刚石薄膜进行了观察分析。结果表明,用乙醇制备的金刚石薄膜比甲烷制得的金刚石薄膜的生长率要高,膜的缺陷少、颗粒均匀。
赵济美石玉龙丁发柱
关键词：等离子体热丝化学气相沉积碳源金刚石薄膜
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共1页<1>
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