谭开洲 作品数:136 被引量:103 H指数:6 供职机构: 中国电子科技集团第二十四研究所 更多>> 发文基金: 模拟集成电路重点实验室基金 模拟集成电路国家重点实验室开放基金 国家重点基础研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 文化科学 自动化与计算机技术 理学 更多>>
强电场下亚微米ESD注入型NMOS IDT-VGS微分负阻现象研究 2021年 采用优化ESD注入条件改善了NMOS器件结构。对该亚微米ggNMOS ESD防护电路单元进行了传输线脉冲TLP法测试。测试结果表明,优化后的多插指通道保护结构的静电释放电流均匀性得到改善。对该ESD注入型NMOS输出特性的研究发现,在强场下漏极电流I_(DT)是一种复合电流,随着栅源电压超过阈值V_(GS)0,它会呈现I_(DT)-V_(GS)微分负阻现象。从MOS-Bipolar复合模式下的碰撞电离和Snapback效应两方面对I_(DT)-V_(GS)微分负阻现象进行了理论分析。研究结果可用于优化CMOS/BiCMOS IC的ESD设计。 刘玉奎 殷万军 谭开洲 崔伟关键词:碰撞电离 静电释放 高压半导体介质耐压终端 本发明提供一种高压半导体介质耐压终端,包括高掺杂半导体材料层、形成于高掺杂半导体材料层上的外延层、外延层顶部部分区域处理后形成的有源器件区,在有源器件区的一侧开设有第一深槽,第一深槽垂直穿过外延层,进入到高掺杂半导体材料... 谭开洲 付强 唐昭焕 胡刚毅 许斌 陈光炳 王健安 王育新 张振宇 杨永晖 钟怡 刘勇 黄磊 王志宽 朱坤峰 陈文锁 邱盛文献传递 一种深槽半导体光探测增益结构 本发明公开了一种深槽半导体光探测增益结构,其中,所述深槽半导体光探测增益结构包括半导体材料,所述半导体材料为第一导电杂质类型,在所述半导体材料的上表面向下开设多个深槽,所述深槽向其槽壁外扩散形成具有第二导电杂质类型的深槽... 谭开洲 崔伟 张霞 张静 陈仙 唐昭焕 吴雪 张培健文献传递 降低浮空埋层半导体器件漏电流的方法 本发明涉及一种降低浮空埋层半导体器件漏电流的方法。包括半导体衬底材料、第一外延层、分裂浮空埋层、第二外延层、侧壁掺杂深槽、被保护器件、表面结终端和划片道。其中,被保护器件、表面结终端处于第二外延层中,分裂浮空埋层位于第二... 谭开洲 唐昭焕 刘嵘侃 刘勇文献传递 增加集成电路器件集成密度的半导体制造方法 本发明涉及一种增加集成电路器件集成密度的半导体制造方法,针对集成电路采用PN结隔离和穿透扩散占用较大面积以及常规深槽隔离存在高台阶、高电场、高应力和不良钳位隐患的问题,本发明采用深槽扩散隔离和深槽穿透扩散结构,实现器件集... 谭开洲 张静 张正璠文献传递 高压功率半导体器件及其制造方法 本发明提供了一种高压功率半导体器件及其制造方法,在外延层的终端区中设置多个沿第一方向贯穿外延层延伸至衬底中的第二电阻场板结构,且各个第二电阻场板结构在第一平面内同心地断续环绕有源区设置,各个第二电阻场板结构与其上的第三电... 谭开洲 肖添 李孝权 徐学良 王颖 江永清 王育新 李光波 王鹏飞 裴颖 吴健 李儒章 王志宽 邱盛 张培健 张正元 刘玉奎欧姆接触电阻率测量方法的比较研究 被引量:6 2006年 根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理。分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不同情况下最合适的办法。 赵安邦 谭开洲 吴国增关键词:金属-半导体 欧姆接触 接触电阻率 Nb:SrTiO_(3)阻变单元及1T1R复合结构的电离辐射总剂量效应研究 2022年 开展了Nb∶SrTiO_(3)阻变单元及1T1R复合结构的X射线总剂量效应实验研究。结果表明,Nb∶SrTiO_(3)阻变单元在累积剂量达到10 Mrad(Si)时依然能够保持良好的阻变特性,高、低阻态未发生逻辑混乱。1T1R复合结构中的NMOS选通晶体管对电离辐射较为敏感,在栅氧化层中辐射感生氧化物陷阱电荷的作用下,NMOS器件阈值电压逐渐向负方向漂移,泄漏电流逐渐增加,进一步导致关态条件下(V_(G)=0 V)对阻变存储单元的错误读写。通过选用抗辐射加固NMOS选通晶体管,可显著提升1T1R复合结构的抗总剂量能力。 单月晖 连潞文 高媛 魏佳男 杜翔 唐新悦 罗婷 谭开洲 张培健关键词:总剂量效应 X射线辐射 基于薄埋氧层及三顶层硅的SOI高压LDMOS研究 被引量:1 2014年 详细研究了一种基于薄埋氧层及三层顶层硅衬底(Triple-Layer Top Silicon,TLTS)的SOI高压LDMOS器件。该结构在SOI介质层上界面的顶层硅内引入一高浓度n+层,当器件处于反向阻断状态时,高浓度n+区部分耗尽,漏端界面处已耗尽n+层内的高浓度电离施主正电荷可增强介质层电场,所产生的附加电场将调制漂移区内的电场,防止器件在漏端界面处被提前击穿,从而可在较薄的埋氧层(BOX)上获得较高耐压。在0.4μm BOX上获得了624V的耐压。与几种SOI器件相比,所提出的TLTS LDMOS器件具有较高优值(FOM)。 雷剑梅 胡盛东 朱志 武星河 罗俊 谭开洲关键词:埋氧层 绝缘体上硅 高压器件 基于锎源的N沟道VDMOS器件单粒子效应研究 被引量:2 2014年 分析了N沟道VDMOS器件的单粒子辐射损伤机理和损伤模式,讨论了VDMOS器件的单粒子辐射加固措施。使用锎源,对采取了加固措施的一款200V高压N沟道VDMOS器件进行单粒子效应试验研究。对比分析了不同漏源电压和栅源电压以及不同真空度对VDMOS单粒子效应的影响,可为VDMOS器件的单粒子辐射加固、试验验证及应用提供参考。 陈佳 乔哲 唐昭焕 王斌 谭开洲关键词:VDMOS 单粒子效应 单粒子烧毁