裴文俊
- 作品数：10 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 一种基于微楔板的信标光与目标共传感器实时成像光路
- 本发明公开了一种基于微楔板的信标光与目标共传感器实时成像光路，用于对信标光和目标的共基准探测。成像光路由前置系统、分光镜、角锥回射器、微楔板、滤光片、成像镜组、传感器构成，利用该光路对目标光和信标光的分离特性实现对信标光...
- 崔占刚张美丽马浩统裴文俊亓波韩培仙陈炳旭
- 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成...
- 刘洪祥裴文俊
- 文献传递
- 一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于：装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 逆向热蒸发制备望远镜主镜银反射膜（英文）
- 2016年
- 以自上向下热蒸发大型镀膜机为实验平台,开展了逆向蒸发制备大口径银反射镜研究.通过设计特殊蒸发舟及优化相关工艺参数,实现了金属银膜稳定、高速向下蒸发.根据逆向热蒸发工艺特点,选取熔点低、升华型材料Cr和SiO及特殊设计的蒸发舟,以Cr或CrNx为粘结层,SiOx或SiOxNy为保护层,制备了三种具有四层结构的介质保护性银反射膜,并对所制备反射镜样品的反射率、断面形貌和环境稳定性进行了表征.实验结果表明：膜系结构为3nmCr/120nmAg/0.6nmCrNx/150nmSiOxNy的银反射膜具有较好的环境稳定性和光谱特性;通过了24小时湿热实验（50℃/相对湿度98%）和盐雾实验,在400～1 800nm波段光谱范围内,银反射膜的平均反射率达到97.8%.
- 徐旭刘洪祥李斌成裴文俊
- 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成...
- 刘洪祥裴文俊
- 一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 大型天文望远镜主镜镀膜技术被引量：3
- 2012年
- 采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350～1 800nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
- 杜维川刘洪祥裴文俊王长军
- 关键词：均匀性反射率主镜镀膜
- 一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法
- 本发明提供一种向下热蒸发介质保护膜层的制备方法，其特征在于装载介质材料的蒸发源位于真空室内部上方、待镀主镜位于下方自上而下蒸发，采用常见的热蒸方式。保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华...
- 裴文俊刘洪祥
- 文献传递
- 大型高真空镀膜机研制
- 为镀制φ2.4m的大型反射镜,研制了国内最大的钟罩式高真空阻蒸镀膜机,首次提出由上向下阻蒸SiO保护Al反射膜的结构。设备采用上室体固定、下室体水平移动的结构模式;使用两组四套独立的高真空抽气系统;设计两套阻蒸系统分别制...
- 裴文俊刘洪祥杜维川王长军
- 关键词：保护膜辉光放电
- 文献传递
