蔡玉丽
- 作品数：9 被引量：6H指数：2
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 主动式微型光纤连接器
- 一种属于光纤通信技术领域的主动式微型光纤连接器，本发明包括：单晶硅基体、V型槽、光纤、薄膜盖板、微驱动器和悬臂梁，V型槽依照晶相方向设在单晶硅基体上，薄膜盖板设在V型槽上方，微驱动器设在单晶硅基体上，微驱动器通过悬臂梁与...
- 丁桂甫蔡玉丽顾东华
- 文献传递
- 新型复合结构电热微驱动器的研制被引量：2
- 2008年
- 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。
- 曾文光丁桂甫王艳付世蔡玉丽
- 关键词：复合结构有限元分析
- 主动式微型光纤连接器
- 一种属于光纤通信技术领域的主动式微型光纤连接器，本发明包括：单晶硅基体、V型槽、光纤、镍薄膜弹性偏置盖板、电阻条和线触点，V型槽依照晶相方向设在单晶硅基体上，镍薄膜弹性偏置盖板设在V型槽的上方，电阻条和线触点设在镍薄膜弹...
- 丁桂甫顾东华蔡玉丽
- 文献传递
- 1×16微机电系统光纤连接器阵列的研制被引量：1
- 2007年
- 一种基于MEMS工艺的硅基阵列化光纤连接器,具有微型化、可集成制造和重复性好等特点。每个单元利用硅V型槽与其上集成制造的电沉积流线型曲面金属镍盖板的组合形成了方便光纤插拔的喇叭口形导引通道和可实现光纤定位及精确自对准的双悬臂梁形夹持通道。采用Ansys软件对双悬臂梁结构在不同的厚度与翘曲位移条件下对光纤产生的压制力进行建模与仿真,并将其与理论分析结果进行比较。成功地将单元扩展成1×16阵列,体积仅为6.8mm×15.2mm×0.5mm,各单元插入损耗约为0.3 dB。
- 蔡玉丽丁桂甫戴旭涵张丹
- 关键词：光学器件微机电系统
- MEMS集成光纤连接器关键技术研究
- 随着当前光纤通信系统应用的不断增长，光纤连接器已经成为光通信系统中的重要光无源器件之一，用于实现系统中设备间、设备与仪表间、设备与光纤间以及光纤与光纤间的非永久性固定连接。随着光系统的小型化和光纤配线架上连接器密集化程度...
- 蔡玉丽
- 关键词：微机电系统光纤连接器电热驱动光纤通信系统悬臂梁
- 文献传递
- 一种基于MEMS的主动式光纤连接器
- 2008年
- 介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真。利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能。
- 张丹丁桂甫蔡玉丽王艳杨卓青
- 关键词：光纤连接器微机电系统
- 主动式微型光纤连接器
- 一种属于光纤通信技术领域的主动式微型光纤连接器，本发明包括：单晶硅基体、V型槽、光纤、镍薄膜弹性偏置盖板、电阻条和线触点，V型槽依照晶相方向设在单晶硅基体上，镍薄膜弹性偏置盖板设在V型槽的上方，电阻条和线触点设在镍薄膜弹...
- 丁桂甫顾东华蔡玉丽
- 文献传递
- 主动式微型光纤连接器
- 一种属于光纤通信技术领域的主动式微型光纤连接器，本发明包括：单晶硅基体、V型槽、光纤、薄膜盖板、微驱动器和悬臂梁，V型槽依照晶相方向设在单晶硅基体上，薄膜盖板设在V型槽上方，微驱动器设在单晶硅基体上，微驱动器通过悬臂梁与...
- 丁桂甫蔡玉丽顾东华
- 文献传递
- 基于MEMS工艺的集成光纤连接器
- 2007年
- 一种基于MEMS技术的新型光纤连接器,在硅V型槽上方集成制造电沉积镍薄膜金属盖板,其两端喇叭口形导引通道方便光纤插拔,中间平直部分的夹持通道实现光纤的定位和精确自对准.该器件体积小巧、可集成制造并且重复性好,测试的插入损耗值小于0.3dB.对此自适应式可集成制造光纤连接器的结构设计和制作工艺作了着重介绍.
- 蔡玉丽丁桂甫戴旭涵顾东华姚锦元张丹
- 关键词：光纤元件光纤连接器MEMS
