王立永
- 作品数：7 被引量：5H指数：1
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺电气工程更多>>
- 压印模具的精密制造工艺优化研究被引量：1
- 2003年
- 在压印光刻中 ,信息的复制是难点 ,而模具的制造是信息复制的途径。为了获得高精度的压印模具 ,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。通过分析模具的表面质量 ,得到了压印模具制作的最佳工艺组合。
- 王立永李涤尘卢风兰
- 关键词：集成电路压印光刻硅橡胶
- 电力系统安全性的经济度量及优化实现策略
- 王立永
- 关键词：电力市场安全性经济当量
- 一种提高压印光刻软模复制精度的方法
- 2003年
- 由于传统的光刻生产工艺有透镜光学极限性 ,压印光刻为集成电路的生产提供了一种新思路。在压印光刻中 ,模具的制造是重点。为了获得高精度的压印模具 ,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加量、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。采用正交实验方式和数理方差分析 ,通过检测压印模具的平整度、一致性、特征尺寸及模具表面的固化收缩率等参数的变化 ,特别是模具的特征尺寸变化 。
- 王立永李涤尘卢凤兰
- 关键词：集成电路压印光刻硅橡胶
- 集成电路芯片(IC)压印光固离子刻蚀法研究被引量：1
- 2004年
- 对压印光固化离子刻蚀法制作集成电路芯片的工艺过程进行了研究 ,对用于压印成形的光固化离子刻蚀材料进行了试验开发 ,并对其压印过程、微复形质量、缺陷控制等问题进行了研究。最后根据压印光固化刻蚀材料的特性确定了合适的压印工艺。
- 段玉岗丁玉成卢秉恒王立永
- 关键词：光固化集成电路
- 微压印光刻工艺中光照系统与复型工艺研究
- 该论文研究了基于模具复型和紫外光固化成型工艺的软压印光刻技术,该方法使用成本较低的硅橡胶材料和光固化材料来实现图形的转移,大幅度降低了IC设备的制造成本和使用成本,为MEMS和IC设备的制造提供了一种新的方法.该文对该工...
- 王立永
- 关键词：压印光刻
- 文献传递
- 历史文本中的模糊限制语:一项基于两本中英历史书对比的个案研究
- 王立永
- 关键词：模糊限制语历史文本不确定性
- 集成电路压印光刻中压印模具的保真度研究被引量：1
- 2002年
- 传统的光刻生产工艺 ,有不可克服的光学极限。压印光刻法为集成电路的生产提供了一种快速、经济的方案。采用电子束直写、步进制模、压印翻制的压印模具生产工艺 ,其模具的制造是目前面临的难点。为了获得高质量的压印模具 ,着重从固化剂的添加量、固化温度及时间等方面进行分析和研究。通过考查压印模具的平整度、均一性、特征尺寸及模具表面的固化收缩率等的变化 ,得到了压印模具制作的最佳工艺组合。
- 王立永李涤尘李寒松卢凤兰
- 关键词：保真度集成电路压印光刻电子束直写硅橡胶
