李寒松
- 作品数：177 被引量：170H指数：7
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信机械工程化学工程更多>>
- 微压印中抗蚀剂、模具及图型转移工艺研究
- 李寒松
- 关键词：微电子技术电子束光刻压印光刻抗蚀剂
- 微细球状电极制备研究被引量：4
- 2011年
- 微细球状电极在精微加工、测量领域有很大的应用空间,为制备低成本、高精度微细球状电极,提出新的制备工艺,在微细电解加工机床上运用微细电化学刻蚀(Micro electro-chemical machining,micro-ECM)—单脉冲放电加工(One pulse electro discharge,OPEG)组合技术制备微细球状电极,即先利用电化学刻蚀技术制备出微细圆柱状电极,然后利用单脉冲放电加工技术制备出前端的微球头。通过电极制备试验,研究各主要加工参数,如加工极性、加工电压、放电持续时间及峰值电流等对微细球状电极成形的影响,得出微细球状电极瞬时成形的基本规律。通过此方法成功地在电化学刻蚀出的直径15μm左右钨丝端部瞬间得到直径30μm左右微细球状电极。相对于线电极放电磨削技术(Wire electrode discharge grinding technology,WEDG)-OPEG组合技术,此方法更易于形成微细球状电极,加工成本低且表面质量好。
- 孟冬李寒松曾永彬刘勇
- 双管组合式工具阴极及其电解铣磨复合加工方法
- 本发明涉及一种双管组合式工具阴极及其电解铣磨复合加工方法，属于电解磨削复合加工领域。本发明提出的双管组合式工具阴极包括内管、外管、橡胶密封圈和螺栓。其中，外管出液孔直径大于内管出液孔直径且孔中心线重合，内管长度大于外管长...
- 曲宁松牛屾李寒松付书星
- 文献传递
- 双内喷液工具阴极系统及其电解磨铣方法
- 本发明涉及一种双内喷液工具阴极系统及其电解磨铣方法，属于电解磨削复合加工领域。机床主轴通过传动直齿轮组带动两个中空的传动轴旋转，进而带动传动轴顶端的旋转接头内环和末端止水夹头一同旋转。止水夹头上可装夹不同设计需求的工具阴...
- 李寒松牛屾曲宁松付书星
- 文献传递
- 电解磨铣复合加工阴极磨头装置
- 本发明涉及一种电解磨铣复合加工阴极磨头装置，属于电解加工与磨削加工领域。它包括阴极体（1），阴极体（1）具有中心盲孔（3），阴极体（1）下部外表面及底面具有磨粒层（4），阴极体（1）还具有与中心盲孔（3）相通的通液孔（2...
- 李寒松张庆良汪浩牛屾曲宁松
- 文献传递
- 钛合金表面椭圆微坑阵列模板电解加工试验研究
- 2024年
- 针对离子推进器织构化流道高效精密加工需求,开展TC4钛合金表面椭圆形微坑阵列模板电解加工试验研究。通过电场有限元仿真,发现随着加工进行,微坑逐渐由矩形变为椭圆并最终变为近似圆形,而且微坑在椭圆短轴方向上增量要大于长轴方向。通过设计一种辅助支撑压紧装置以抑制非加工表面杂散腐蚀,研究了加工时间、占空比对微坑尺寸的影响。研究表明,在加工电压30 V、频率2 kHz、时间60 s、占空比8%的优选参数下,可以实现椭圆形微坑阵列的高效高一致性加工,得到的平均深度为98.04μm,长轴和短轴平均宽度分别为198.25μm和186.84μm。
- 严政王天明李寒松房晓龙
- 关键词：钛合金阵列结构
- 基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置
- 本发明涉及一种基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置，属电解加工技术领域。该方法包括以下步骤：1.运用常压等离子表面处理机对PDMS模板表面进行处理；2.将表面经过等离子处理的两块PDMS掩模板与工件阳极表面...
- 曲宁松陈晓磊李寒松
- 文献传递
- 电解铣磨高效粗精加工一体化加工方法
- 本发明涉及一种电解铣磨高效粗精加工一体化技术及工具阴极，属于电解铣磨复合加工领域。本发明提出的技术，在于使用带有金刚石磨粒的工具阴极，粗加工时，采用20V以上的加工电压，在电解作用主导下材料被高效的大余量去除，精加工时，...
- 曲宁松岳小康牛屾李寒松房晓龙
- UV-LIGA技术制备微细金结构试验研究被引量：1
- 2011年
- 利用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术加工微细金结构。针对所沉积的微结构出现凹形的现象,建立了加工过程的电场数学模型,利用有限元方法对这种现象进行仿真研究,发现当光刻胶厚度大于微结构厚度时,可以明显改善这种情况。另外,试验还研究了阴阳极距离、电流密度对沉积层表面平整度的影响。优化参数组合,最终制备出厚度0.2 mm的微细金结构。
- 郝光亮曲宁松李寒松曾永彬
- 关键词：仿真
- 微压印光刻的模具制作工艺研究被引量：2
- 2003年
- 从模具材料研究模具制作工艺问题,通过实验研究,对比分析了有机玻璃模具和硅橡胶模具制作工艺。实验表明,可以复制出特征尺寸为0.35μm和0.1μm的有机玻璃模具和硅橡胶模具,均具有很高的复型精度。由于硅橡胶模具制作工艺在复型精度、复型精度稳定性和制作速度上均优于有机玻璃模具,且缺陷密度低于有机玻璃模具。因此,选用基于高复型精度软硅橡胶模具的软压印光刻工艺。
- 秦旭光李涤尘李寒松丁玉成卢秉恒
- 关键词：压印光刻硅橡胶有机玻璃
