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段守胜
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院电工研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
李勇滔
中国科学院研究生院
方光荣
中国科学院电工研究所
谢家仪
国家纳米科学中心
吴震
中国科学院研究生院
薛虹
中国科学院电工研究所
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作者
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段守胜
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李勇滔
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谢家仪
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方光荣
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吴震
传媒
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年份
3篇
2009
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SEM自动聚焦系统设计
被引量:3
2009年
扫描电子显微镜(SEM)是用于观测微观世界的工具。扫描图像系统的聚焦好坏直接影响了观测的结果。反复的人为操作不仅使操作者疲惫,更会带来主观的误差。本系统依靠FEI公司提供的接口函数(API)采集样品的图像,利DCT变换对图像进行频域性质分析,设计出图像清晰度评价函数,并且使用爬山算法搜索出最佳聚焦物镜电流,成功设计出高精度、鲁棒性高的自动调焦软件,实现了调焦的自动化。
段守胜
李勇滔
谢家仪
方光荣
关键词:
SEM
自动聚焦
DCT变换
爬山算法
基于超声电机的微机械臂系统
2009年
针对传统电机驱动机械臂体积大、重量重、定位精度低的缺点,研制了基于超声电机的以DSP控制的微型机械臂系统。该系统主要由机械结构和控制系统组成。机械结构由支架、机械臂和系统升降台等组成,控制系统由上位计算机、超声电机及控制器组成。本系统的实验结果表明:采用PI控制器对超声电机的控制,在微米尺度下可以达到较高的精度要求。
吴震
薛虹
段守胜
李勇滔
关键词:
超声电机
DSP
扫描电子显微镜自动调焦系统设计
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称为SEM)是现代微观观测的重要手段,越来越多的科技工作者使用它作为观察样品的工具。在使用扫描电子显微镜观测样品时,扫描图像系统聚焦准确程度直接...
段守胜
关键词:
自动调焦系统
扫描电子显微镜
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