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文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇气相沉积
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇光谱
  • 2篇光学
  • 2篇光学特性
  • 2篇沉积速率
  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱
  • 1篇特性分析
  • 1篇自支撑
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇化学键
  • 1篇化学结构
  • 1篇光电子能谱
  • 1篇光谱分析
  • 1篇非晶

机构

  • 4篇西南科技大学
  • 3篇中国工程物理...

作者

  • 4篇李建根
  • 3篇吴卫东
  • 2篇马婷婷
  • 1篇曹林洪
  • 1篇王雪敏
  • 1篇干泰原
  • 1篇戴阳
  • 1篇王海平

传媒

  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇原子能科学技...
  • 1篇真空

年份

  • 2篇2011
  • 2篇2010
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
CHN薄膜化学结构和成分分析
2011年
采用外置式电容耦合低压等离子化学气相沉积法制备非晶CHN薄膜。X射线光电子能谱仪分析表明薄膜表面C、N和O的相对含量比,同时随着N2/CH4比例增大,薄膜中N元素的含量逐渐增加;并且对薄膜中存在的C-N共价键进行了讨论;傅里叶红外透射光谱分析表明薄膜中存在C-N键和其他官能团;拉曼光谱分析表明随着N2/CH4比例增大,D峰和G峰的中心位置先远离然后靠近,并且D峰和G峰的面积比逐渐增加,源于薄膜无序度增加且逐渐趋于石墨化。
李建根吴卫东干泰原曹林洪
关键词:化学气相沉积X射线光电子能谱拉曼光谱化学键
α-C_xN_y:H_(1-x-y)薄膜的制备和光学性能分析
2010年
采用外置式电容耦合低压等离子体化学气相沉积法,以高纯CH4/N2/H2作为反应气体,制备非晶α-CxNy:H1-x-y薄膜。研究了薄膜沉积速率和入射功率之间的关系,随着功率增大,薄膜沉积速率先增大后减小;SEM图像表明薄膜无层状、柱状结构;AFM图像表明薄膜粗糙度在0.2~0.3nm之间;傅里叶红外光谱(FTIR)显示了薄膜的成键情况;紫外-可见-近红外光谱表明,随着入射功率的增大,薄膜的光学带隙逐渐减小。
李建根吴卫东马婷婷
关键词:沉积速率光学特性
脉冲激光气相沉积法制备的非晶CH薄膜特性分析
2010年
采用脉冲激光气相沉积(PLD)法,研究了氢气压强对非晶CH薄膜性能的影响。原子力显微镜图和白光干涉图显示,薄膜表面平整致密,随着氢气压强增大,粗糙度变大。拉曼光谱分析表明,氢气压强增加,G峰和D峰位置都在向高波数方向移动。傅里叶变换红外光谱分析显示,薄膜中存在sp3—CH2和sp2—CH等基团。最后,采用PLD漂浮法在最优参数氢气压强为0.3 Pa下,成功制备了不同厚度(100-300 nm)、满足一定力学强度、无明显宏观缺陷的自支撑CH薄膜。
马婷婷王雪敏王海平李建根戴阳吴卫东
关键词:脉冲激光沉积自支撑光谱分析
非晶CHN薄膜的制备及特性研究
Liu和Cohen理论计算表明碳氮化合物β—C3N4由于具有比金刚石更大的体积模量、高热导率、能带宽度大以及硬度比金刚石高等优点,吸引了诸多学者的研究。许多研究方法被用来制备晶体的碳氮材料,如:磁控溅射、激光消融、离子束...
李建根
关键词:非晶薄膜化学气相沉积沉积速率光学特性
文献传递
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