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李佳青

作品数：37 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信兵器科学与技术军事更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇中文专利

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇军事
  • 1篇兵器科学与技...

主题

  • 14篇物料
  • 10篇物料输送系统
  • 9篇硅片
  • 8篇输送车
  • 8篇物料输送
  • 7篇自动化
  • 7篇牺牲层
  • 6篇图形化
  • 6篇片盒
  • 6篇存储设备
  • 5篇电路
  • 5篇微电子
  • 5篇微电子机械
  • 5篇微电子机械系...
  • 5篇半导体
  • 4篇导轨
  • 4篇位置传感器
  • 4篇集成电路
  • 4篇感器
  • 4篇半导体集成

机构

  • 37篇上海集成电路...

作者

  • 37篇李佳青
  • 8篇康晓旭
  • 6篇王毅博
  • 4篇袁超
  • 4篇戴文俊
  • 2篇左青云
  • 2篇姚峰英
  • 2篇蒋宾
  • 1篇林宏
  • 1篇池积光

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 3篇2018
  • 4篇2017
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 4篇2014
  • 7篇2013
  • 6篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2007
共 37 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微电子机械系统微桥结构及其制造方法
本发明提出微电子机械系统微桥结构及其制造方法，该结构，包括：半导体衬底；金属层，其间隔设置于所述半导体衬底上，形成图形化的凹槽；介质层，设置于所述金属层之间的图形化凹槽中；缓冲层，设置于所述金属层和介质层上；牺牲层，设置...
袁超康晓旭李佳青池积光
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自动化物料传送系统
本发明的自动化物料输送系统及物料传送方法，包括：层物料出口和层物料进口；双层隔层结构，位于每一层储物架的底部或顶部，隔层结构的上层解雇构成当层储物架的底部，隔层结构的下层构成下一层储物架的顶部；可伸缩支架，位于下层结构的...
李佳青王毅博戴文俊
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自动化物料输送系统及物料传送方法
本发明的自动化物料输送系统，包括：在储物架顶部的末端设置有可伸缩支架；可伸缩支架的底部设有首尾相连的封闭式导轨，导轨至少有一部分与可伸缩支架沿伸缩方向的中心轴线对齐；导轨上从前到后悬挂有若干可伸缩抓取装置，可伸缩抓取装置...
李佳青王毅博戴文俊
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用于AMHS输送车的传动结构
本实用新型公开了一种用于AMHS输送车的传动结构，其包括固定于输送车车体的四个传动轮、各传动轮上的传动皮带以及与四根传动皮带下方连接的抓取模块，其中，该四根传动皮带中包括三根承重皮带和一根线路皮带，该线路皮带内部中空以贯...
王毅博李佳青
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设备前端装置和硅片盒的储运方法
本发明公开了一种设备前端装置和硅片盒的储运方法，属于半导体制造技术领域。设备前端装置可以包括：至少一个装载单元、控制单元和物料运送单元，所述的控制单元控制装载有硅片盒的所述装载单元升降，将所述硅片盒传送给所述物料运送单元...
李佳青
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自动化物料输送系统及物料传送方法
本发明的自动化物料输送系统，包括：在储物架顶部的末端设置有可伸缩支架；可伸缩支架的底部设有首尾相连的封闭式导轨，导轨至少有一部分与可伸缩支架沿伸缩方向的中心轴线对齐；导轨上从前到后悬挂有若干可伸缩抓取装置，可伸缩抓取装置...
李佳青王毅博戴文俊
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自动化物料传输系统及其方法
本发明公开了一种自动化物料传输系统及其方法，属于物料传输领域。该系统包括：存储设备、导轨、物料输送单元、位置传感器和传动单元。存储设备的存储单元中分层存储有物料；物料输送单元存取物料并沿着导轨行驶；位置传感器确定物料输送...
李佳青
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一种硅片盒搬送系统及搬运方法
本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，提供了一种硅片盒搬送系统，包括输送车以及工艺设备，输送车的车身上设有感测单元、控制单元以及驱动单元；感测单元用于采集装载台的图像，控制单元将采集的图像与预设图像进行对比，并确...
李佳青
MEMS牺牲层结构制造方法
根据本发明的MEMS牺牲层结构制造方法包括：金属层形成步骤；牺牲层沉积前硅片表面处理步骤，用于改善硅片表面特性；牺牲层沉积步骤，用于沉积牺牲层；支撑孔图形化步骤，用于实现在牺牲层内的支撑孔图形化；以及牺牲层后处理步骤，用...
康晓旭左青云李佳青
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MEMS的缓变侧壁的形成方法
本发明提供MEMS的缓变侧壁的形成方法，通过以图案化的第一光刻胶层为掩膜，刻蚀部分所述第一薄膜；利用富氧等离子体对图案化的第一光刻胶层进行修整；以修整后的第一光刻胶层为掩膜，再次刻蚀所述第一薄膜，以露出所述衬底；去除修整...
李佳青康晓旭袁超
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