戴忠玲
- 作品数：17 被引量：52H指数：3
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部跨世纪优秀人才培养计划高等学校骨干教师资助计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 射频及脉冲偏压等离子体鞘层流体动力学模拟
- 针对导体基板,本文建立了自洽的射频偏压等离子体鞘层流体动力学模型,研究了等离子体参数对无碰撞射频偏压等离子体鞘层物理特性和轰击到基板上离子能量分布的影响.模型包括描述离子运动的含时间相关项的连续性方程、动量方程和决定鞘层...
- 戴忠玲
- 关键词：等离子体流体动力学模型蒙特卡罗模拟
- CF_4/Ar混合气体放电特性的数值模拟
- <正>文章通过建立一维和二维的混合模型,对CF_4/Ar混合气体的双频容性耦合等离子体放电进行了数值模拟。分析场分布,电子、离子密度分布,离子能量分布(IEDF)、角度分布(IADF),以及电子能量分布(EEDF)等随射...
- 毕振华戴忠玲徐翔李志成王友年
- 文献传递
- 射频与脉冲等离子体鞘层物理特性理论研究
- 王友年戴忠玲候璐景
- ①课题来源与背景：等离子体刻蚀技术已成为超大规模集成电路和微电机系统制造的关键技术，随着集成度的提高，微加工的质量、可控性、重复性和成本等方面都遇到了瓶颈，亟需深入、系统的认识射频等离子体鞘层的非平衡输运特性，从而提高中...
- 关键词：
- 关键词：微加工工艺超大规模集成电路
- 射频等离子体鞘层物理特性理论研究
- 王友年王德真戴忠玲
- 等离子体薄膜沉积、刻蚀以及注入是超大规模集成电路和微电机系统制造以及复杂形状材料表面改性的关键技术。本项目的目标是研究等离子体加工中的关键区域-射频鞘层中的等离子体非平衡输运过程以及射频鞘层物理特性对鞘层中尘埃粒子物理特...
- 关键词：
- 关键词：等离子体
- 一种用于等离子体刻蚀的元胞-水平集联合模拟方法
- 本发明公开了一种用于等离子体刻蚀的元胞-水平集联合模拟方法，通过元胞方法将等离子体刻蚀的物理化学机制表达出来，得到等离子体刻蚀过程中的表面刻蚀速率，再将表面刻蚀速率作为水平集的速度场函数，模拟整个剖面的演化过程，得到等离...
- 阎军严培戴忠玲杨明强张赛谦
- 文献传递
- 等离子体刻蚀工艺的物理基础被引量：27
- 2006年
- 介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.
- 戴忠玲毛明王友年
- 关键词：等离子体刻蚀电容耦合放电双频鞘层
- 深化改革,提高大学物理实验教学质量被引量：2
- 1997年
- 本文结合实际介绍了在大学物理实验教学中所进行的一系列改革及其在提高物理实验教学质量中的作用。
- 戴忠玲孙井方王玮唐福深李显君
- 关键词：物理实验教学质量
- 机械力对Fe-Cr-Co-V-Ti系永磁体磁性的影响被引量：1
- 1991年
- 齐凤春戴忠玲胡静
- 关键词：永磁体磁性振动
- 一种用于等离子体刻蚀的元胞-水平集联合模拟方法
- 本发明公开了一种用于等离子体刻蚀的元胞-水平集联合模拟方法，通过元胞方法将等离子体刻蚀的物理化学机制表达出来，得到等离子体刻蚀过程中的表面刻蚀速率，再将表面刻蚀速率作为水平集的速度场函数，模拟整个剖面的演化过程，得到等离...
- 阎军严培戴忠玲杨明强张赛谦
- 文献传递
- 射频等离子体鞘层动力学模型被引量：11
- 2001年
- 在流体力学方程的基础上建立了一种自洽的无碰撞射频等离子体鞘层动力学模型 .这种自洽性包含两个方面 :一方面 ,由于考虑了瞬时鞘层电场对离子运动的影响 ,因此该模型适用于描述任意频率段的射频鞘层演化过程 ;另一方面 ,在模型中采用等效电路方法来自洽地确定极板上的瞬时电位与瞬时鞘层厚度之间的关系 .采用数值方法模拟出鞘层的瞬时厚度及极板的瞬时电位变化、鞘层内离子密度和电场强度等物理量的时空变化 .结果表明 ,当射频场的频率小于或等于离子等离子体频率时 。
- 戴忠玲王友年马腾才
- 关键词：鞘层流体力学动力学等离子体刻蚀
