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姚雨
作品数:
2
被引量:13
H指数:1
供职机构:
华东师范大学理工学院纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心
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相关领域:
电子电信
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合作作者
靳彩霞
华东师范大学理工学院纳光电集成...
黄素梅
华东师范大学理工学院纳光电集成...
孙卓
华东师范大学理工学院纳光电集成...
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姚雨
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黄素梅
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靳彩霞
传媒
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年份
2篇
2007
共
2
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氮化镓基LED芯片的制备研究
GaN是一种宽禁带半导体材料,在室温下其直接带隙宽度为3.39eV,具有热导率高、耐高温、耐酸碱、高硬度等特性,是第三代半导体的代表。这些特性使GaN基材料广泛地被用于蓝、绿、紫外发光二极管和激光器,以及高温大功率器件。...
姚雨
关键词:
发光二极管
化学气相沉积
铟锡氧化物
干法刻蚀
表面粗化
文献传递
用表面粗化ITO的欧姆接触提高GaN基LED性能(英文)
被引量:12
2007年
应用ICP干法刻蚀工艺和自然光刻技术,制备了ITO表面粗化的GaN基LED芯片。聚苯乙烯纳米颗粒在干法刻蚀中作为刻蚀掩膜。通过扫描电镜(SEM)观察ITO薄膜的粗糙度,并且报道了优化的粗化工艺参数。结果表明,ITO表面粗化的GaN基LED芯片同传统的表面光滑的芯片相比在20 mA的驱动电流下,发光强度提高了70%。
姚雨
靳彩霞
董志江
孙卓
黄素梅
关键词:
GAN基发光二极管
铟锡氧化物
表面粗化
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