叶交托
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学医药卫生更多>>
- 一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵
- 一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，它涉及一种超声微泵。本发明解决了现有的以毛细作用力作为驱动力的微泵存在的无法实现润湿性不好和非润湿性的流体的驱动，以及驱动效果易受环境影响的问题。本发明的槽体、底板与上盖板之间形成第一腔室，...
- 许志武张墅野李百顺叶交托王宁
- 高斯分布激光前向转印Cu薄膜形貌及机理被引量：4
- 2013年
- 激光诱发前向转印技术,作为一种微加工手段,具有制备微小结构的能力,目前已经成为微细加工领域的研究热点。通过改变高斯分布激光脉冲功率密度,进行了Cu薄膜在石英玻璃表面的转印实验,并对转印沉积薄膜进行了光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)表面氧化状态分析,探讨了激光脉冲功率密度与沉积薄膜的尺寸、特殊形貌以及薄膜厚度均匀性的关系,并在此基础上研究了激光转印Cu薄膜的机理。结果表明,当激光平均脉冲功率密度达到1×105 W/cm2时,Cu薄膜的转印才可以发生。随着激光脉冲功率密度的增加,转印Cu薄膜尺寸增加,并由薄膜转变为圆环形,最终尺寸达到一定值。激光转印薄膜表层10nm以下,基本上没有氧化发生。薄膜附着在基板上,连接紧密,并未观察到明显的扩散迹象。
- 刘威窦广彬王春青田艳红叶交托
- 一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵
- 一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，它涉及一种超声微泵。本发明解决了现有的以毛细作用力作为驱动力的微泵存在的无法实现润湿性不好和非润湿性的流体的驱动，以及驱动效果易受环境影响的问题。本发明的槽体、底板与上盖板之间形成第一腔室，...
- 许志武张墅野李百顺叶交托王宁
- 文献传递
- 激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用
- 2013年
- 激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术。转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积。作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转移技术具备制作微小结构的能力,能实现金属、有机物、半导体和生物材料等多种材料的转移和图形制作,在电子制造领域有着广阔的应用前景。
- 刘威王春青田艳红窦广斌叶交托
- 关键词：微细加工电子制造
- 高斯分布激光散焦距离对激光转印Cu薄膜形貌影响及机理分析被引量：2
- 2013年
- 激光诱发前向转印(LIFT)技术作为微加工的一种手段,具有制备微小结构的能力,目前已经成为微细加工领域的研究热点。通过改变高斯分布的激光聚焦位置,进行了Cu薄膜在石英玻璃表面的转印实验,并对转印沉积薄膜进行了光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和能量弥散X射线(EDX)等分析,探讨了激光散焦距离与沉积薄膜的尺寸、形貌以及厚度均匀性的关系,并在此基础上研究了转印薄膜形貌发生变化的机理。研究结果表明,随着激光光斑离焦距离的增大,转印图形的尺寸先增大后变小,直至消失。转印Cu薄膜的形态从环形或火山形,转变为圆形,并且圆形薄膜的边缘存在大量微小的Cu颗粒。薄膜的转印形式也由开始的液态转印向固态转印演变。
- 刘威窦广彬王春青田艳红叶交托
