刘妤
- 作品数：66 被引量：46H指数：4
- 供职机构：重庆理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金教育部科学技术研究重大项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程农业科学更多>>
- 二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解
- 硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,在军民两用市场中有着广泛的应用前景.本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器,采用力法求解了其主轴刚度,为进一步研究该...
- 刘妤温志渝张流强梁玉前温中泉李霞
- 关键词：响应特性
- 文献传递
- 一种带耦合梁结构的单敏感质量元硅微二维加速度传感器
- 本发明公开了一种带耦合梁结构的单敏感质量元硅微二维加速度传感器，包括基底、固定支撑、惯性质量块和梳齿电容结构；惯性质量块为矩形结构，悬空设在基底的中部上方；惯性质量块的四侧分别设有梳齿电容结构，四个梳齿电容结构相对于惯性...
- 刘妤杨红韵邓国红徐睿
- 文献传递
- 农业机械旋转耕作部件动态负荷测试试验台
- 本发明公开了一种农业机械旋转耕作部件动态负荷测试试验台，包括土槽和台车，台车包括台车机架、旋耕系统、土壤压实系统、土壤平整系统和行走系统，所述旋耕系统安装在台车机架的前端，土壤压实系统安装在台车机架的后端，土壤平整系统安...
- 许洪斌刘妤梁举科杨岩徐涛金陈亚洁
- 文献传递
- 硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)被引量：1
- 2012年
- 设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn;线性相关系数分别为0.9968、0.9961,交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。
- 刘妤温志渝陈李杨红韵
- 关键词：MEMS加速度传感器体硅工艺
- 一种基于自谐振技术的硅微二维加速度传感器
- 本发明公开了一种基于自谐振技术的硅微二维加速度传感器，包括衬底、筒状结构的固定支撑、苜蓿叶形状的惯性质量块、PN结和谐振微梁；惯性质量块通过四个对称的谐振微梁悬挂于支撑架的中部，并位于衬底的正上方；四个PN结对称设置在衬...
- 刘妤
- 文献传递
- MEMS微加速度传感器的系统级仿真
- 本文概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
- 刘妤温志渝张流强梁玉前
- 关键词：微加速度传感器MEMSCAD系统级仿真宏模型
- 文献传递
- 一种勉调节宽电压多电极可控高压开关
- 本发明提供一种勉调节宽电压多电极可控高压开关，包括相对间隔同方向平行设置的第一主电极和第二主电极，特殊空间位置的第一辅助针电极、第二辅助针电极、第三辅助针电极和第四辅助针电极，以及用于在各对电极上产生短接电弧的触发电路。...
- 杨佳伍梦李晖胡建军刘妤刘述喜李山肖蕙蕙陈新岗冯波杨奕古亮
- 多轴微加速度传感器的进展被引量：5
- 2007年
- 微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。
- 刘妤温志渝杨红韵
- 关键词：微机电系统微加速度传感器
- 一种滚动接触疲劳试验台
- 本实用新型公开一种滚动接触疲劳试验台，针对目前市面上滚动接触疲劳试验机的不足，精准、具备无人测试技术的滚动接触疲劳试验装备。该系统主要包括主试验系统、加载系统和陪试系统。该系统是研究齿轮、轴承、轴等关键机械零部件滚动接触...
- 杨岩刘妤梁举科
- 一种带耦合梁结构的单敏感质量元硅微二维加速度传感器
- 本发明公开了一种带耦合梁结构的单敏感质量元硅微二维加速度传感器，包括基底、固定支撑、惯性质量块和梳齿电容结构；惯性质量块为矩形结构，悬空设在基底的中部上方；惯性质量块的四侧分别设有梳齿电容结构，四个梳齿电容结构相对于惯性...
- 刘妤杨红韵邓国红徐睿
