陶新昕
- 作品数：10 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>
- 新型真空微电子压力传感器的研制
- 该文研究的真空微电子压力传感器是近来发展起来的新型压力传感器,与其他传感器相比,它具有灵敏度高、温度稳定性好、体积小、功耗低、抗辐射、制造工艺与VLSI工艺相兼容等特点.在计算机模拟计算的基础上,作者提出了新型结构的敏感...
- 陶新昕
- 关键词：真空微电子压力传感器
- 双栅极场发射阵列的特性模拟与设计被引量：1
- 1998年
- 具有聚焦能力的双栅极场发射阵列(DGFEA)是两类最有发展前途的真空微电子器件(高分辨率场发射显示器和真空微电子微波、毫米波器件)的关键技术。本文简要比较了两种结构的DGFEA的主要性能和优缺点,叙述了双层栅极结构DGFEA的设计与模拟方法.从模拟计算获得的发射特性和聚焦性能可以看到:这种结构的DGFEA能获得几乎平行的场发射电子束,其最大发射电流密度可达到约500A/cm^2以上,是发展真空微电子微波、毫米波器件和其它强流电子注器件等较理想的电子源。
- 庄学曾夏善红陶新昕
- 关键词：真空微电子器件微波器件毫米波器件
- 真空微电子压力传感器封装技术的实验研究
- 简要介绍了作者近期在新型真空微电子压力传感器研究方面取得的进展，着重介绍真空微电子压力传感器封装的实验研究。
- 夏善红陶新昕贾水生
- 关键词：真空微电子压力传感器封装技术
- 真空微电子压力传感器
- 夏善红陈绍凤陶新昕
- 该项目对真空微电子压力传感器进行了系统的应用基础性研究，在器件结构、阴极电子发射特性、压力敏感膜形变特性、制作工艺、封装技术等方面都进行了深入的探索，取得了一系列创新性研究成果。提出并研究了“台阶阴极”、“敏感膜－阴极复...
- 关键词：
- 关键词：传感器真空微电子
- 真空微电子压力传感器真空腔封接技术研究
- 真空腔的密封是真空微电子器件制作的工艺难点,目前国内外有关的文献报道报少,本文研究了真空微电子压力传感器的真空封接技术,文中阐述采用硅-二氧化硅键合技术完成真空微电子压力传感器阴阳极与绝缘层封接的工艺原理和主要方法。
- 陶新昕夏善红陈绍凤
- 关键词：真空微电子压力传感器
- 文献传递
- 敏感膜—阴极复合型压力传感器
- 敏感膜—阴极复合型压力传感器,由阳极21、压力敏感膜22、阴极电子发射膜23、绝缘层25构成了压力传感器;所说的压力敏感膜22和阴极电子发射膜23为一体。本发明使得传感器封装时只需使阴极图形与阳极电极引线相对应,对准精度...
- 夏善红陶新昕
- 文献传递
- 低压电子枪的设计和特性
- 利用高电压把电子从阴极中拉出，再把它减速到人们所希望的能量，这种低压电子枪在工程和科学研究方面有着广泛的应用。该电子枪所产生束流为空间电荷限制流。该文还给出电子枪设计原理和方法。通过两把实用电子枪的例子进行说明。该电子枪...
- 郭铸九夏善红陶新昕
- 关键词：电子枪束流空间电荷
- 新型真空微电子压力传感器及其封闭技术研究
- 介绍了作者在新型真空微电子压力传感器研究方面取得的进展，并探讨真空微电子压力传感器的封装技术。
- 夏善红陶新昕陈绍风
- 关键词：真空微电子传感器
- 敏感膜—阴极复合型压力传感器
- 敏感膜-阴极复合型压力传感器，由阳极(21)、压力敏感膜(22)、阴极电子发射膜(23)、真空腔(24)、绝缘层(25)构成了压力传感器；所说的压力敏感膜(22)和阴极电子发射膜(23)为一体。本发明使得传感器封装时只需...
- 夏善红陶新昕
- 文献传递
- 阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究被引量：2
- 2001年
- 该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
- 陶新昕夏善红苏杰陈绍凤
- 关键词：真空微电子压力传感器
