苏杰
- 作品数：7 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>
- 阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究被引量：2
- 2001年
- 该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
- 陶新昕夏善红苏杰陈绍凤
- 关键词：真空微电子压力传感器
- 真空微电子多功能传感器及制备方法
- 一种真空微电子多功能传感器。在真空压力传感器的阳极版的背面制备薄膜温度传感器,所述的传感器是阵列传感器。本发明将两种传感器集成,可以形成一个双功能的传感器,既能对外界压力的分布进行测量,又能对环境的温度进行感知。
- 夏善红苏杰
- 文献传递
- 真空微电子三极管中电子渡越时间的近似计算方法
- 采用不同的近似计算方法，对真空微电子三极管中阴极尖端电场强度分布及电子渡越时间进行了研究、分析和比较，找出了几种电子渡越时间近似计算方法的共同点，统一了电子渡越时间的计算公式，画出了供计算用的有关曲线。
- 陈博贤刘光诒苏杰朱敏慧夏善红
- 关键词：修正系数等效法真空微电子三极管
- 压力传感器阵列与温度传感器集成系统研究
- 本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备.
- 苏杰夏善红陈绍凤
- 关键词：温度传感器优化设计
- 文献传递
- 真空微电子压力传感器阵列与薄膜铂电阻温度传感器的集成系统
- 该文提出并研制了一种能测量压力分布的真空微电子压力传感器阵列与薄膜铂电阻温度传感器的集成系统.其中,真空微电子压力传感器阵列有4×4个单元,相邻两单元间距1mm, 各单元的阴极采用'敏感膜-场发射阴极'复合结构,阳极则制...
- 苏杰
- 关键词：真空微电子压力传感器温度传感器
- 文献传递
- 真空微电子多功能传感器及制备方法
- 一种真空微电子多功能传感器。在真空压力传感器的阳极版的背面制备薄膜温度传感器，所述的传感器是阵列传感器。本发明将两种传感器集成，可以形成一个双功能的传感器，既能对外界压力的分布进行测量，又能对环境的温度进行感知。
- 夏善红苏杰
- 文献传递
- 用于智能机器人的微型化压力传感器阵列与温度传感器集成系统
- 本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备.
- 苏杰传感技术国家重点实验室夏善红陈绍凤
- 关键词：温度传感器智能机器人
- 文献传递
