苏振锐
- 作品数:1 被引量:1H指数:1
- 供职机构:广东工业大学信息工程学院更多>>
- 发文基金:广东省科技计划工业攻关项目广州市科技攻关项目更多>>
- 相关领域:机械工程更多>>
- 一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法被引量:1
- 2010年
- 高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证。
- 邓耀华吴黎明张力锴陈景郁苏振锐
- 关键词:自适应细分嵌入式