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苏振锐

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:广东工业大学信息工程学院更多>>
发文基金:广东省科技计划工业攻关项目广州市科技攻关项目更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇嵌入式
  • 1篇自适
  • 1篇自适应
  • 1篇自适应细分
  • 1篇控制精度
  • 1篇工作台

机构

  • 1篇广东工业大学
  • 1篇华南理工大学

作者

  • 1篇苏振锐
  • 1篇吴黎明
  • 1篇陈景郁
  • 1篇张力锴
  • 1篇邓耀华

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法被引量:1
2010年
高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证。
邓耀华吴黎明张力锴陈景郁苏振锐
关键词:自适应细分嵌入式
共1页<1>
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