王风丽
- 作品数：82 被引量：151H指数：8
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- X射线超反射镜的设计与制备
- 介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad...
- 王风丽张众吴文娟王利王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：粗糙度磁控溅射
- 文献传递
- 14nm低原子序数材料多层膜的设计和制备被引量：1
- 2011年
- 为了减小常规多层膜的带宽,提高其光谱分辨率,对采用低原子序数材料组成的适用于极紫外和软X射线波段的多层膜进行了研究。首先,在14nm波长处选取3种低原子序数材料对Si/B4C,Si/C和Si/SiC组成多层膜,用随机搜索的方法优化设计了这3种多层膜以及在此波段常用的Mo/Si多层膜。然后,用直流磁控溅射的方法制备Si/B4C,Si/C,Si/SiC和Mo/Si多层膜,并用X射线衍射仪测量拟合多层膜的周期厚度。最后,用同步辐射测试多层膜的反射率。同步辐射测试结果显示,Mo/Si多层膜的带宽最大,为0.57nm;Si/SiC多层膜的带宽最小,为0.18nm,结果与理论基本一致。实验结果表明,低原子序数材料多层膜的带宽要比常规Mo/Si多层膜窄,使用低原子序数材料组成多层膜可以提高多层膜的光谱分辨率。
- 吴文娟张众朱京涛王风丽陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：多层膜磁控溅射光谱分辨率
- “加窗”傅里叶变换表征极紫外薄膜
- 2013年
- 傅里叶变换法分析薄膜掠入射X射线反射率曲线是获得膜层厚度、界面粗糙度等重要结构信息的分析方法之一。在傅里叶变换分析中,窗函数的选择对变换结果有重要的作用。通过对比分析"矩形窗"傅里叶变换(FFT)和"小波窗"傅里叶变换(WFFT),发现WFFT有效抑制了FFT自相关函数出现的大量干扰峰,这对于分辨真假峰和邻近两个峰值具有重要的意义。此外,研究发现FFT和WFFT的膜层厚度分辨误差随着信号截取长度的增加呈非周期性振荡,该振荡变化与反射率曲线振荡有关,在布拉格衍射峰谷附近截断信号会得到较好的厚度分辨结果。对实验制备的单层Ni和四层Si/Ti/Ni/Ti薄膜进行了FFT和WFFT分析,验证上述结论,为分析非传统周期薄膜提供一种精确表征的方法。
- 段伟王风丽李文斌王占山
- 关键词：傅里叶变换窗函数自相关函数
- 功能晶体实验室的科学管理
- 2020年
- 该文以同济大学功能晶体实验室为例,介绍了在实验室安全防护、教学科研活动中的管理制度与工作经验。通过将职工负责制和研究生炉长制相结合,实现实验室设备的科学有效管理。通过建立科学规范的管理制度,提升实验工艺水平,保证实验室财产安全,达到实验室安全高效运行的目的。
- 王庆国吴锋罗平唐慧丽王风丽金佳徐军方恺
- 关键词：功能晶体实验教学安全管理
- 具有共振腔模式的一维光子晶体结构被引量：1
- 2004年
- 介绍了具有共振腔模式的一维光子晶体光谱特性及电场特性计算的传输矩阵方法;基于该结构光学性质如:电场局域态、禁带,综述了其在光学器件中的应用;并提出了需要对该结构进行改进的几个方面。
- 王利王风丽吴文娟王洪昌林小燕王占山吴永刚陈玲燕
- 关键词：传输矩阵共振腔局域态多通道一维光子晶体光学器件
- 亚飞秒啁啾Mo/Si多层膜反射镜的设计、制作与性能检测被引量：2
- 2009年
- 针对利用高次谐波获取亚飞秒脉冲的实验需求,设计制备了啁啾为-2 800 as2的啁啾Mo/Si多层膜反射镜.数值计算表明,采用所设计的啁啾多层膜反射镜可以获得86 as的脉冲.通过直流磁控溅射方法实现了Mo/Si多层膜样品的制备.在合肥同步辐射上进行了多层膜反射率的测量,在所设计的工作波长内,多层膜的平均反射率为5.6±2.3%.在考虑最上层Si的氧化作用后,对测量曲线进行拟合,得到的反射率曲线和膜层厚度分布分别与测试曲线和设计结果相吻合.
- 王风丽陈锐王占山徐敬朱京涛张众
- 关键词：高次谐波磁控溅射反射率
- 真空紫外波段Al膜保护层MgF_2的光学常数被引量：3
- 2017年
- 由于Al膜的保护层MgF_2薄膜的光学常数对Al/MgF_2高反射镜的性能有极大的影响,本文研究了获取MgF_2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF_2厚度的Al/MgF_2反射镜样品,通过掠入射X射线小角反射方法表征样品,获得了膜层厚度和粗糙度。在国家同步辐射实验中心计量站测试了入射角为5°时,样品在105~130nm波段的反射率。在Al、MgF_2膜层的厚度和Al的光学常数已知条件下,依据菲涅尔公式,得出了满足某波长处样品反射率的等值曲线,然后从三条曲线的交点得出了MgF_2薄膜在108~128nm波段的光学常数。对比和分析显示:利用此方法得到的108~128nm波段MgF_2薄膜光学常数计算的反射率曲线和实际测试得到的反射率曲线吻合较好。
- 王风丽张壮壮王占山周洪军霍同林
- 关键词：真空紫外反射镜保护层光学常数菲涅尔公式热蒸发
- 一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法
- 本发明涉及一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法，包括以下步骤：(1)取清洗干净的基板置于镀膜机的真空室中，蒸镀一层Al膜；(2)继续在步骤(1)的Al膜上蒸镀一层LiF膜，得到Al/LiF基板；(3)在加热条件下...
- 王风丽李双莹王占山
- 文献传递
- 用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文)被引量：8
- 2007年
- 介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2 .25 g/cm3,沉积速率为0 .058 nm/s。
- 徐垚王占山徐敬张众王洪昌朱京涛王风丽王蓓秦树基陈玲燕
- 关键词：X射线衍射仪
- 磁控溅射材料沉积速率的定标方法的研究被引量：1
- 2005年
- 介绍了一种利用磁控溅射制备多层膜速率的定标方法。用高精度磁控溅射镀膜设备在同一块基片上先后镀制了两种周期的多层膜,用X射线衍射仪对其进行掠入射衍射测量,测量数据经线性拟合,可同时求得两种多层膜的周期,进而得到镀膜速率。与常用的定标方法相比,该方法不仅可以得到与常用定标方法相同的实验结果,而且提高了工作效率。
- 吴文娟王占山张众王洪昌王风丽秦树基陈玲燕
- 关键词：多层膜磁控溅射定标
