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低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术被引量：14: 2010年; 制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系;同时,采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究,分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征,以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术,由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度,最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。; 马彬沈正祥张众贺鹏飞季一勤刘华松刘丹丹王占山; 关键词：亚表面损伤层光散射化学腐蚀刻蚀速率

一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法: 本发明涉及一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法，该方法包括以下步骤：步骤1：利用离子束一维修形设备根据待修正光学元件的二维面形特征设计多组一维复合修正路径；步骤2：在离子束一维修形设备与待修正光学元件的镜面之...; 黄秋实王占山黄瀚丹蒋励张众

极紫外光源用大口径Mo/Si多层膜厚度控制与热稳定性研究: 2024年; Mo/Si多层膜是13.5 nm极紫外波段理想的反射镜膜系,它与极紫外光源的结合使得极紫外光刻成为了目前最先进的制造手段之一。极紫外光源的实际应用对Mo/Si多层膜提出了高反射率、高热稳定性、抗辐照损伤、大口径等诸多要求。针对极紫外光源用Mo/Si多层膜面临的膜厚梯度控制和高温环境问题,利用掩模板辅助法对大口径曲面基底上不同位置处的多层膜膜厚进行修正;选择C作为扩散阻隔层材料,对磁控溅射法制备的Mo/Si、Mo/Si/C和Mo/C/Si/C三种多层膜在300℃高温应用环境下的热稳定性展开了研究。研究结果表明:通过掩模板辅助的方式能够将300 mm口径曲面基底上不同位置处的Mo/Si多层膜膜厚控制在预期厚度的±0.45%以内,基底上不同位置处Mo/Si多层膜的膜层结构和表面粗糙度基本相同;引入C扩散阻隔层后,经过300℃退火,Mo/Si多层膜的反射率损失从9.0%减少为1.8%,说明C的引入能够有效减少高温对多层膜微结构的破坏和对光学性能的影响,提高了多层膜的热稳定性。; 刘翔月张哲蒋励宋洪萱姚殿祥黄思怡徐文杰霍同林周洪军齐润泽黄秋实张众王占山; 关键词：激光光学 MO/SI多层膜磁控溅射热稳定性

一种玻璃镜片的无微裂纹热阻丝切割加工方法: 本发明涉及一种玻璃镜片的无微裂纹热阻丝切割加工方法，涉及裂纹扩展机理、裂纹扩展控制方法和裂纹扩展加工工艺等技术领域。由传统的玻璃切割方法加工而成的玻璃断面存在细小微裂纹，当玻璃镜片在特殊的大加速度环境中（如玻璃镜片由地球...; 王昆孔令明王占山张众; 文献传递

一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法: 本发明涉及一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法，针对轮胎镜面的特点，采用干涉法检测轮胎镜面的小曲率半径和大曲率半径，包括：小曲率半径检测步骤，通过光学轮廓仪获取轮胎镜的实测表面形貌，提取沿小曲率半径方向的轮廓数...; 沈正祥张众黄秋实; 文献传递

一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构: 本发明涉及一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构，包括周期分布的多层膜堆，多层膜堆中心位置与每个光栅周期的中心位置重合，多层膜堆占宽比从顶部到底部单调增大，所述占宽比指多层膜堆任意高度位置上的横向宽度与光栅周期的比值，周...; 黄秋实王占山蒋励张众

X射线望远镜超薄玻璃镜片的电阻丝热应力无损切割加工: 传统的玻璃切割方法（如金刚石切割和激光切割等）加工而成的玻璃断面存在细小微裂纹,当在特殊的大加速度环境中（如玻璃镜片由地球送往太空）,细小微裂纹在巨大压力作用下迅速延展扩大,导致玻璃镜片完全破碎。因此超薄光学玻璃镜片的无...; 王昆吴意王占山张众; 文献传递

磁控溅射方法制备碳膜稳定性的研究: 内应力与附着性是影响C膜稳定性的重要因素。本文分析了磁控溅射方法制备C膜中内应力产生的主要原因，研究了应力大小与沉积时工艺条件--气压、靶距之间的关系，提出了控制C膜中内应力的方法，并通过添加Ti中间层增强了C膜的附着性...; 刘丽琴王占山朱京涛张众王风丽徐迭张慧晶白亮徐垚; 关键词：磁控溅射内应力附着性; 文献传递

基于非周期多层膜的X射线成像研究被引量：11: 2006年; 本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·; 顾春时王占山穆宝忠王风丽张众秦树基陈玲燕; 关键词：空间分辨率

Mo/Si多层膜表面保护层设计: 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高。计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个...; 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕; 关键词：薄膜光学多层膜反射率; 文献传递

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张众