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汪学毅

作品数：2 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学技术大学化学与材料科学学院中国科学院结构分析重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体诊断
  • 1篇电子回旋共振
  • 1篇汽相沉积
  • 1篇微波
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学汽相沉积
  • 1篇波导

机构

  • 2篇中国科学技术...

作者

  • 2篇汪学毅
  • 2篇詹如娟
  • 1篇项志遴
  • 1篇温晓辉
  • 1篇朱小东
  • 1篇尹东辉

传媒

  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1993
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
ECR微波等离子体特性的实验研究被引量：6
1998年
着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置，以及在CH4－H2混合气体放电情况下，诊断了内部等离子体参数，给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金刚石膜合成条件下等离子体中的基团情况，同时研究了它们与工艺参数之间的关系。
詹如娟汪学毅温晓辉王存勇朱小东
关键词：电子回旋共振等离子体诊断微波波导
金刚石薄膜的合成及相应的等离子体状态被引量：2
1993年
本文报道了用热阴极直流辉光放电等离子体化学气相沉积(PCVD)方法,在单晶硅和石英玻璃基片上合成金刚石薄膜的结果。采用 X 射线衍射、Raman 散射、扫描电子显微镜和傅利叶变换红外光谱测定了合成膜的性能。初步探讨了合成金刚石条件下等离子体的状态,利用朗缪尔探针诊断了在金刚石生长条件下等离子体的电子温度和密度。
詹如娟江习承汪学毅尹东辉项志遴
关键词：化学汽相沉积金刚石膜
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共1页<1>
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