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杨中兴
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘双
中国科学院物理研究所
周均铭
中国科学院物理研究所
黄绮
中国科学院物理研究所
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机构
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中国科学院
作者
3篇
杨中兴
3篇
刘双
2篇
黄绮
2篇
周均铭
传媒
1篇
半导体情报
年份
1篇
1997
1篇
1992
1篇
1991
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3
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一种采用正弦驱动的软动作快门
本实用新型涉及一种采用正弦驱动的软动作快门,通过传动件及滚珠轴向轴承与安装在导轨上的滑块传递动力,滑块内装有外磁环组;内磁环组固定在装有润滑轴向轴承的内磁环支架上,内磁环支架与装有润滑轴向轴承的轴承座相配,固定杆穿过润滑...
刘双
杨中兴
黄绮
周均铭
袁樊森
文献传递
一种三室结构的真空液态源
本实用新型涉及一种“三室结构”的真空液态源,其特征在于:它包括注入口、外室、手动阀、标准室、内室、加热筒、加热块、密封圈、异形过渡件。本装置能将空气与真空有效隔离,标准室同时起到了量具和加速冷却的作用。内室能提供一个有效...
刘双
杨中兴
黄绮
周均铭
文献传递
软动作快门设计与应用
1991年
本文介绍了电机拖动,光电控制的软动作快门的设计及使用的基本情况。该装置挡板位移55mm所用时间仪为0.1s,经过一万次左右的开关试验,其性能稳定,实现了无撞击运动。该装置有助于提高外延材料的界面质量,而且更加适应MEE的生长模式。
刘双
杨中兴
黄绮
周均铭
关键词:
分子束外延
快门
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