张建明
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：国家纳米科学中心更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 新型激光直写的方法与技术
- 2021年
- 激光直写是一类重要的微纳米加工技术,广泛用于高精度掩模板、MEMS、微纳米结构的制造等领域。依据阿贝成像原理,提高激光系统加工分辨率有缩短波长和增大物镜数值孔径两条技术道路,现均已发展到极致,但激光加工分辨率仍然徘徊在微米量级,制约了激光直写在纳米领域的应用。为了进一步提高加工分辨率,突破阿贝成像的衍射极限已成为必然趋势。此外,目前的激光直写设备主要使用的受体材料是有机光刻胶,严重限制了它的应用场景。针对上述两个难题,寻找新的技术原理、研究新原理下的激光直写方法、研发新一代激光直写装备等科学技术问题,具有重要的理论和实际意义。
- 刘前郭传飞王永胜张浩然张浩然
- 关键词：激光直写激光系统数值孔径微纳米结构掩模板光刻胶
- 一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法
- 本发明提供一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法。其中制备超细晶金属薄膜的方法包括以下步骤：步骤1)选取基底，对其进行清洗和干燥处理；步骤2)采用物理气相沉积工艺，生长一层金属In，Sn，Zn或Bi薄膜；步骤3)表面氧化步...
- 张建明郭传飞刘前
- 一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法
- 本发明提供一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法。其中制备超细晶金属薄膜的方法包括以下步骤：选取基底，对其进行清洗和干燥处理；采用物理气相沉积工艺，生长一层金属In，Sn，Zn或Bi薄膜；表面氧化步骤2)的薄膜；重复步骤2...
- 张建明郭传飞刘前
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