吴历清
- 作品数:7 被引量:18H指数:2
- 供职机构:浙江大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学化学工程金属学及工艺更多>>
- 常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究被引量:2
- 2010年
- 在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的。光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能。然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能。
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- 关键词:氮化钛
- 兼具隔热和保温功能的TiN<Sub>x</Sub>镀膜玻璃及其制备方法
- 本发明公开了一种兼具隔热和保温功能的TiN<Sub>x</Sub>镀膜玻璃及其制备方法,玻璃基片上的TiN<Sub>x</Sub>薄膜含有原子摩尔百分含量为:钛元素44%~59%,氮元素41%~56%。采用化学气相沉积法...
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- 文献传递
- 衬底对溶胶凝胶法制备TiO_2薄膜性能的影响被引量:1
- 2007年
- 以钛酸丁酯为前驱体,经浸渍拉膜法在不锈钢以及表面预镀一层非晶态SiO2薄膜的不锈钢表面镀TiO2薄膜。利用XRD、FE-SEM研究了薄膜晶体结构与表面形貌,同时研究了不同衬底上薄膜光催化活性和亲水性,并与以玻璃为衬底的作比较。结果表明,衬底对TiO2薄膜表面形貌及性能的影响很大。以不锈钢为衬底的TiO2薄膜性能光催化活性较弱,但在表面预镀一层非晶态SiO2后TiO2薄膜的光催化活性有所改善。
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- 关键词:溶胶凝胶法衬底光催化活性亲水性
- 非化学计量TiNx薄膜APCVD法制备与性能研究
- 吴历清
- 关键词:高效节能镀膜玻璃
- TiN纳米粉体的制备方法
- 本发明公开的TiN纳米粉体的制备方法,采用的是化学气相沉积法,将清洗后的基片放入气相沉积反应室,以惰性气体为载气将NH<Sub>3</Sub>和经预热的钛源通入反应室,制备TiN纳米粉体。工艺简单,生产成本低,可连续生产...
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- 文献传递
- 氮化钛作为新型节能玻璃涂层的研究被引量:15
- 2007年
- 利用常压化学气相沉积法(APCVD)以四氯化钛(TiCl4)和氨气(NH3)作为反应物在玻璃基板上沉积制备了氮化钛(TiN)薄膜.分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结晶性能、微观结构、表面形貌和光学、电学性能进行了分析.结果表明,制备的TiN薄膜厚度为500nm,具有NaCl型面心立方结构并表现出(200)晶面的择优取向,薄膜的晶粒大小分布均匀.在可见光区的透射率达到60%,反射率小于10%.在近红外光区的反射率达40%以上.方块电阻为34.5Ω,按照Drude理论可以计算出薄膜的中远红外反射率为71.5%,说明制备的TiN薄膜在保证足够取光的条件下表现出良好的节能性能.
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- 关键词:氮化钛
- TiN纳米粉体的制备方法
- 本发明公开的TiN纳米粉体的制备方法,采用的是化学气相沉积法,将清洗后的基片放入气相沉积反应室,以惰性气体为载气将NH<Sub>3</Sub>和经预热的钛源通入反应室,制备TiN纳米粉体。工艺简单,生产成本低,可连续生产...
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- 文献传递