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向民

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇微机械
  • 3篇电子器件
  • 3篇光电
  • 3篇光电子
  • 3篇光电子器件
  • 3篇主电极
  • 2篇电压驱动
  • 2篇压电驱动
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇平面型
  • 2篇球面
  • 2篇微机械结构
  • 2篇微结构
  • 2篇滤波器
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米线
  • 2篇静电驱动
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀技术
  • 2篇块结构

机构

  • 9篇中国科学院

作者

  • 9篇向民
  • 8篇王跃林
  • 3篇吴亚明
  • 2篇杨艺榕
  • 2篇李毅
  • 2篇刘文平
  • 1篇王东平
  • 1篇李铁
  • 1篇王浙辉
  • 1篇陈思琴
  • 1篇王文辉
  • 1篇解健芳
  • 1篇唐衍哲

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 3篇2003
  • 1篇2002
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
基于半导体材料的纳米线制作方法
本发明涉及一种基于半导体材料纳米线的制作方法。其特征在于利用半导体工艺中“鸟嘴”效应和半导体材料的湿法腐蚀或干法刻蚀技术在介质层上的半导体材料上加工制备出纳米尺度的线条，近似矩形或梯形截面，且可在顶层介质的表面形成保护膜...
向民刘文平王跃林
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基于半导体材料的纳米线制作方法
本发明涉及一种基于半导体材料纳米线的制作方法。其特征在于利用半导体工艺中“鸟嘴”效应和半导体材料的湿法腐蚀或干法刻蚀技术在介质层上的半导体材料上加工制备出纳米尺度的线条，近似矩形或梯形截面，且可在顶层介质的表面形成保护膜...
向民刘文平王跃林
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基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究
可调谐光学滤波器是现代光通信系统和传感器网络的关键器件,利用微机电系统(MEMS)技术的法布里-珀罗(Fabry-Perot)腔可调光学滤波器以其体积小、性能高、成本低等优点成为众多解决方案中有力的竞争者之一.该论文以该...
向民
关键词：F-P干涉仪微机电系统介质薄膜
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压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
本发明提供一种法布里－珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来，并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度，降低了装配难度，从而保证器件性能。所...
向民吴亚明李毅王跃林
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一种利用<110>硅片制作的微机械光开关
本发明提供一种利用<110>硅片制作微机械光开关的设计，属于光电子器件领域。其特征在于它是由A、B两个部分紧密结合而成，且相互绝缘；A部分上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁、主质量...
向民杨艺榕王跃林
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1×2，2×2机械光开关
王跃林李铁吴亚明杨艺榕解健芳向民唐衍哲王东平王文辉王浙辉陈思琴
该项目采用微机械加工技术，研制了三种1×2光开关。其原理分别为：①（100）垂直镜面自对准光开关，采用在（100）硅片上腐蚀出垂直的（100）镜面和自对准的光纤V型槽，并采用特殊的抛光技术提高表面质量，通过静电力导致微镜...
关键词：
关键词：微机械光开关光通信
由静电驱动大位移的微结构
本发明提供一种静电驱动垂直方向大位移变形的微结构，属于光电子器件领域。它由A、B两个部分紧密结合而成。它由A、B两个部分紧密结合而成，A、B之间相互绝缘，A部上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁...
向民王跃林
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压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
本发明提供一种法布里-珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来，并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度，隆低了装配难度，从而保证器件性能。所...
向民吴亚明李毅王跃林
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由静电驱动大位移的微结构
本发明提供一种静电驱动垂直方向大位移变形的微结构，属于光电子器件领域。它由A、B两个部分紧密结合而成。它由A、B两个部分紧密结合而成，A、B之间相互绝缘，A部上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁...
向民王跃林
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