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刘丹

作品数:24 被引量:13H指数:1
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金:中国科学院国防科技创新基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学医药卫生一般工业技术更多>>

文献类型

  • 17篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 18篇探测器
  • 13篇碲镉汞
  • 13篇红外
  • 11篇焦平面
  • 8篇焦平面探测器
  • 8篇红外焦平面
  • 7篇红外焦平面探...
  • 6篇碲镉汞探测器
  • 5篇红外探测
  • 5篇红外探测器
  • 4篇电路
  • 4篇电压
  • 4篇电压测试
  • 4篇读出电路
  • 4篇列阵
  • 4篇衬底
  • 3篇电极
  • 3篇衍射
  • 3篇衍射极限
  • 3篇硫化

机构

  • 24篇中国科学院
  • 1篇上海科学技术...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 24篇刘丹
  • 20篇林春
  • 15篇胡晓宁
  • 10篇叶振华
  • 10篇丁瑞军
  • 9篇何力
  • 8篇廖清君
  • 7篇钟艳红
  • 7篇陈昱
  • 7篇周松敏
  • 5篇邢雯
  • 4篇马伟平
  • 4篇冯靖文
  • 3篇陆伟
  • 3篇曹菊英
  • 3篇黄玥
  • 3篇黄建
  • 2篇王建新
  • 2篇王晨飞
  • 2篇魏彦锋

传媒

  • 2篇红外与毫米波...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇应用光学
  • 1篇2015年红...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 8篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 4篇2011
  • 1篇2010
24 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
碲镉汞红外焦平面探测器衬底全去除技术研究
基于去衬底对提高碲镉汞(MCT)红外焦平面探测器可靠性的重要意义,本文主要从湿法腐蚀液的选择、腐蚀液配比、腐蚀方式、不同厚度衬底的腐蚀对HgCdTe表面形貌的影响以及衬底去除后探测器HgCdTe表面后处理工艺等方面对碲锌...
钟艳红廖清君刘丹胡晓宁林春
关键词:碲镉汞探测器碲锌镉砷化镓
一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器
本发明公开了一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器,它采用在前视光场方向上原位集成红外镜面窗口的浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器的结构方案。浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器不仅具有微凸镜列阵型探测器能抑制串音...
叶振华陆伟黄建邢雯刘丹冯靖文林春胡晓宁丁瑞军何力
一种用激光切割碲镉汞薄膜的方法
本发明公开了一种用激光切割碲镉汞薄膜的方法,它包括以下步骤:1、利用作图软件绘制切割路径,保存图形文档。2、将样品放在激光加工平台上,调节样品位置和水平,使激光聚焦在样品表面。3、设定激光加工系统的工作参数:波长:532...
张姗林春魏彦锋刘丹李辉胡晓宁丁瑞军
文献传递
Au/Mo与HgCdTe的欧姆接触研究
研究了Au/Mo与HgCdTe之间的金属半导体接触,并且研究了快速热处理对Au/Mo与中短波HgCdTe材料之间接触的影响.通过传输线模型测试了不同温度下(80K,300K)的比接触电阻.结果表明,Au/Mo与长波的p-...
刘丹林春
关键词:欧姆接触HGCDTE比接触电阻退火
碲镉汞红外焦平面探测器衬底全去除技术研究
基于去衬底对提高碲镉汞(MCT)红外焦平面探测器可靠性的重要意义,本文主要从湿法腐蚀液的选择、腐蚀液配比、腐蚀方式、不同厚度衬底的腐蚀对HgCdTe表面形貌的影响以及衬底去除后探测器HgCdTe表面后处理工艺等方面对碲锌...
钟艳红廖清君刘丹胡晓宁林春
关键词:碲镉汞探测器碲锌镉砷化镓
文献传递
基于选择性湿法腐蚀工艺的碲镉汞探测器的衬底去除技术
本发明公开了一种用于碲镉汞红外探测器衬底去除技术中的选择性湿法腐蚀工艺方法,该方法是在红外光敏感芯片和读出电路在冷压混成互连后,采用高选择比的无机酸腐蚀液,通过湿法腐蚀工艺,完全腐蚀衬底留下外延层,以展宽探测波段至可见光...
刘丹王晨飞钟艳红周松敏林春叶振华廖清君胡晓宁
文献传递
一种用于碲镉汞探测器N区横向展宽的变间距测量方法
本发明公开了一种用于碲镉汞探测器N区横向展宽的变间距测量方法,该方法是在已经制备ZnS阻挡层和对准标记的碲镉汞红外芯片上,通过光刻工艺,设计一系列不同间距PN结的离子注入掩膜。离子注入后再通过常规工艺制备钝化层和金属化欧...
周松敏翁彬刘丹林春徐刚毅李浩
文献传递
一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法
本发明公开一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法,在台面顶部引出电极一,在台面底部引出电极二,两电极的顶部处于一个水平高度。该结构的优点在于制备工艺简单,能够提高台面型红外探测器引出电极的可靠性。
黄玥叶振华马伟平陈昱刘丹丁瑞军何力
文献传递
一种光电二极管n区结构优化的碲镉汞长波探测芯片
本发明公开了一种光电二极管n区结构优化的离子注入n<Sup>+</Sup>-on-p型碲镉汞(HgCdTe)红外长波(long-wavelength)光伏探测芯片,它涉及光电探测器件技术。本发明采用光电二极管n区由通过离...
叶振华王建新潘建珍邢雯刘丹陈昱林春胡晓宁丁瑞军何力
文献传递
一种用于碲镉汞材料的腐蚀液及配制方法
本发明公开一种用于碲镉汞材料的腐蚀液及配制方法,该腐蚀液由溴、氢溴酸和乙二醇三种溶液组成。先按比例将氢溴酸溶液倒入乙二醇溶液中,静置5~10分钟,再按比例将溴溶液倒入氢溴酸和乙二醇的混合溶液中,待颜色稳定后,得到碲镉汞材...
樊华廖清君刘丹杨勇斌黄悦周松敏孙常鸿解晓辉胡晓宁
文献传递
共3页<123>
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