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刘丹
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24
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供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
中国科学院国防科技创新基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
医药卫生
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合作作者
林春
中国科学院上海技术物理研究所
胡晓宁
中国科学院上海技术物理研究所
丁瑞军
中国科学院上海技术物理研究所
叶振华
中国科学院上海技术物理研究所
何力
中国科学院上海技术物理研究所
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作者
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刘丹
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林春
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叶振华
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丁瑞军
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何力
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廖清君
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钟艳红
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陈昱
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1篇
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碲镉汞红外焦平面探测器衬底全去除技术研究
基于去衬底对提高碲镉汞(MCT)红外焦平面探测器可靠性的重要意义,本文主要从湿法腐蚀液的选择、腐蚀液配比、腐蚀方式、不同厚度衬底的腐蚀对HgCdTe表面形貌的影响以及衬底去除后探测器HgCdTe表面后处理工艺等方面对碲锌...
钟艳红
廖清君
刘丹
胡晓宁
林春
关键词:
碲镉汞探测器
碲锌镉
砷化镓
一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器
本发明公开了一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器,它采用在前视光场方向上原位集成红外镜面窗口的浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器的结构方案。浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器不仅具有微凸镜列阵型探测器能抑制串音...
叶振华
陆伟
黄建
邢雯
刘丹
冯靖文
林春
胡晓宁
丁瑞军
何力
一种用激光切割碲镉汞薄膜的方法
本发明公开了一种用激光切割碲镉汞薄膜的方法,它包括以下步骤:1、利用作图软件绘制切割路径,保存图形文档。2、将样品放在激光加工平台上,调节样品位置和水平,使激光聚焦在样品表面。3、设定激光加工系统的工作参数:波长:532...
张姗
林春
魏彦锋
刘丹
李辉
胡晓宁
丁瑞军
文献传递
Au/Mo与HgCdTe的欧姆接触研究
研究了Au/Mo与HgCdTe之间的金属半导体接触,并且研究了快速热处理对Au/Mo与中短波HgCdTe材料之间接触的影响.通过传输线模型测试了不同温度下(80K,300K)的比接触电阻.结果表明,Au/Mo与长波的p-...
刘丹
林春
关键词:
欧姆接触
HGCDTE
比接触电阻
退火
碲镉汞红外焦平面探测器衬底全去除技术研究
基于去衬底对提高碲镉汞(MCT)红外焦平面探测器可靠性的重要意义,本文主要从湿法腐蚀液的选择、腐蚀液配比、腐蚀方式、不同厚度衬底的腐蚀对HgCdTe表面形貌的影响以及衬底去除后探测器HgCdTe表面后处理工艺等方面对碲锌...
钟艳红
廖清君
刘丹
胡晓宁
林春
关键词:
碲镉汞探测器
碲锌镉
砷化镓
文献传递
基于选择性湿法腐蚀工艺的碲镉汞探测器的衬底去除技术
本发明公开了一种用于碲镉汞红外探测器衬底去除技术中的选择性湿法腐蚀工艺方法,该方法是在红外光敏感芯片和读出电路在冷压混成互连后,采用高选择比的无机酸腐蚀液,通过湿法腐蚀工艺,完全腐蚀衬底留下外延层,以展宽探测波段至可见光...
刘丹
王晨飞
钟艳红
周松敏
林春
叶振华
廖清君
胡晓宁
文献传递
一种用于碲镉汞探测器N区横向展宽的变间距测量方法
本发明公开了一种用于碲镉汞探测器N区横向展宽的变间距测量方法,该方法是在已经制备ZnS阻挡层和对准标记的碲镉汞红外芯片上,通过光刻工艺,设计一系列不同间距PN结的离子注入掩膜。离子注入后再通过常规工艺制备钝化层和金属化欧...
周松敏
翁彬
刘丹
林春
徐刚毅
李浩
文献传递
一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法
本发明公开一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法,在台面顶部引出电极一,在台面底部引出电极二,两电极的顶部处于一个水平高度。该结构的优点在于制备工艺简单,能够提高台面型红外探测器引出电极的可靠性。
黄玥
叶振华
马伟平
陈昱
刘丹
丁瑞军
何力
文献传递
一种光电二极管n区结构优化的碲镉汞长波探测芯片
本发明公开了一种光电二极管n区结构优化的离子注入n<Sup>+</Sup>-on-p型碲镉汞(HgCdTe)红外长波(long-wavelength)光伏探测芯片,它涉及光电探测器件技术。本发明采用光电二极管n区由通过离...
叶振华
王建新
潘建珍
邢雯
刘丹
陈昱
林春
胡晓宁
丁瑞军
何力
文献传递
一种用于碲镉汞材料的腐蚀液及配制方法
本发明公开一种用于碲镉汞材料的腐蚀液及配制方法,该腐蚀液由溴、氢溴酸和乙二醇三种溶液组成。先按比例将氢溴酸溶液倒入乙二醇溶液中,静置5~10分钟,再按比例将溴溶液倒入氢溴酸和乙二醇的混合溶液中,待颜色稳定后,得到碲镉汞材...
樊华
廖清君
刘丹
杨勇斌
黄悦
周松敏
孙常鸿
解晓辉
胡晓宁
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