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合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心

作品数：20 被引量：89H指数：6
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
皇华
作品数：3被引量：24H指数：2
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪群
作品数：2被引量：8H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：超声波测距 AGC 可变增益放大器 自动增益控制电路 MEMS开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闵锐
作品数：2被引量：9H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：超声波 测距系统 测距算法 IIR数字滤波器 信号处理方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李建军
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：MEMS开关 MEMS KU波段 RF_MEMS 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡潇
作品数：1被引量：20H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄晓莉
作品数：1被引量：20H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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