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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室

作品数：100 被引量：218H指数：8
相关作者：薛丽君李金儒汤跃科易里成荣胡勇更多>>
相关机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心安徽大学电子信息工程学院兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>

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共 14 条 记 录，以下是 1-10
薛丽君
作品数：12被引量：15H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
作品数：12被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤跃科
作品数：9被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
易里成荣
作品数：8被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：纳米电子器件 单电子器件 光学光刻技术 纳电子器件 共振隧穿器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡勇
作品数：7被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：微光刻技术 光学 电子束直写 电子束曝光系统 数据处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志钢
作品数：4被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：纳米电子器件 单电子器件 光学光刻技术 纳电子器件 共振隧穿器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
作品数：3被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：分辨率 移相掩模技术 移相掩模 光刻 交替式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效力
作品数：3被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：分子电子学 金属 微细加工技术 微电子学 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李亚文
作品数：2被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：超分辨 波带片 衍射光学 旁瓣抑制 X射线光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晶晶
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：叉指换能器 X射线光刻 电子束光刻 声表面波器件 声表面波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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