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北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
作品数:
98
被引量:212
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贾玉斌
张威
袁勇
于民
赵前程
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贾玉斌
作品数:30
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H指数:6
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:加速度计 电极 MEMS 光开关 谐振
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张威
作品数:13
被引量:115
H指数:3
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:MEMS 原电池 微机电系统 微执行器 微电子机械系统
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袁勇
作品数:9
被引量:11
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供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:面向对象 逆向工程 JAVA语言 再工程 英文
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于民
作品数:8
被引量:11
H指数:2
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:硅 分子动力学 离子注入 探测器 串扰
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赵前程
作品数:7
被引量:17
H指数:2
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:角振动陀螺仪 微机械陀螺 MEMS 阳极键合 硅玻璃
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王颖
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H指数:2
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:共晶键合 微电子 自对准 金 硅
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周吉龙
作品数:5
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供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
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吕佳楠
作品数:4
被引量:2
H指数:1
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:氮化镓 干法刻蚀 氮化镓材料 表面等离子体激元 MEMS
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鲁庆
作品数:3
被引量:12
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供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:超深亚微米 辐照特性 抗辐射加固 金属-氧化物-半导体器件 总剂量效应
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王婧
作品数:2
被引量:4
H指数:2
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:发电机 过滤器 多表连接 微型发电机 驻极体
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