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沈阳芯源微电子设备有限公司

作品数：466 被引量：30H指数：3
相关作者：谷德君卢继奎王绍勇王阳王冲更多>>
相关机构：中国有色（沈阳）冶金机械有限公司沈阳工业大学中国科学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目教育部人文社会科学研究基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学电气工程更多>>

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地区

  • 61个辽宁省
共 61 条 记 录，以下是 1-10
谷德君
作品数：52被引量：12H指数：2
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢继奎
作品数：32被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 半导体行业 湿法处理 承片台 供液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王绍勇
作品数：25被引量：2H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王阳
作品数：25被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：涂胶 光刻胶 半导体生产 晶圆 喷嘴
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冲
作品数：24被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：光刻胶 晶片 半导体行业 光刻工艺 工艺过程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏猛
作品数：23被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体晶片 涂胶 显影 晶片 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张怀东
作品数：22被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 芯片制造 喷嘴 均匀性 显影
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程虎
作品数：18被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：基板 处理系统 半导体 大尺寸 流体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽鹤
作品数：18被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶圆 密封 顶针 废液 均布
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑春海
作品数：18被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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