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山东大学控制科学与工程学院电子束研究所

作品数:29 被引量:87H指数:7
相关作者:姚作宾郝惠娟更多>>
相关机构:泰山学院物理与电子工程学院北京信息科技大学理学院中国石油大学(华东)计算机与通信工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金山东省自然科学基金山东省科技攻关计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

领域

  • 2个电子电信
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 2个电子束
  • 1个导热
  • 1个导热硅脂
  • 1个电源
  • 1个电子束光刻
  • 1个电子束曝光
  • 1个电子束曝光机
  • 1个电阻器
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  • 1个以太
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  • 1个以太网控制
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  • 1个抑制技术
  • 1个因特网
  • 1个噪声
  • 1个噪声抑制
  • 1个正交
  • 1个散热
  • 1个数据处理

机构

  • 2个山东大学
  • 1个山东工业大学

资助

  • 1个国家自然科学...
  • 1个山东省科技攻...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个山东省科技发...

传媒

  • 2个微细加工技术
  • 1个光电子.激光
  • 1个东南大学学报...
  • 1个微纳电子技术
  • 1个华东六省一市...
  • 1个山东省自动化...
  • 1个1987年中...
  • 1个中国电子学会...

地区

  • 2个山东省
2 条 记 录,以下是 1-2
姚作宾
作品数:13被引量:9H指数:2
供职机构:山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
研究主题:电阻器 电子束曝光机 热管 采样 热敏元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郝惠娟
作品数:3被引量:3H指数:1
供职机构:山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
研究主题:电子束光刻 母板 PMMA 辐射降解 聚甲基丙烯酸甲酯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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