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作品数:2 被引量:15H指数:1
相关领域:文化科学化学工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 1篇单晶金刚石
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学刻蚀
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇设备资源
  • 1篇拍摄环境
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石
  • 1篇开放共享
  • 1篇刻蚀
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇共享
  • 1篇共享平台
  • 1篇共享平台建设
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基材料
  • 1篇刚石
  • 1篇高校

机构

  • 2篇西安交通大学

传媒

  • 1篇电子显微学报
  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
山·水·楼
2020年
由于金刚石具有宽频带隙能、高击穿率等优点,且适用于高温/高氧化、高辐射等环境,具有替代压力传感器中硅基材料的潜力。然而,传统的多晶或纳米晶金刚石的晶间存在一定的杂质和应力,电导率很低。因此,本课题提出以离子注入结合化学气相沉积的方式,制备单晶金刚石,并采用ICP刻蚀与电化学刻蚀对单晶金刚石进行加工。拍摄环境为常温/高真空,借助扫描电子显微镜对制备的单晶金刚石形貌进行拍摄。图中薄膜状的条带为制备的单晶金刚石,其上的亮色条纹是沉积的金属钨。其余部分为金刚石基板腐蚀后的形貌。
苻娇任子君
关键词:电化学刻蚀单晶金刚石化学气相沉积扫描电子显微镜拍摄环境硅基材料
推动仪器设备院级共享平台建设 提升高校存量设备资源使用效益被引量:15
2019年
结合西安交通大学近年来在加强实体平台建设、推进设备资源开放共享、提升资源使用效益方面的实践探索,在广泛了解兄弟高校的经验和做法的基础上,分析了高校分散在院系、科研团队的大型科研仪器设备的使用现状及原因,研究了通过政策激励引导,创新运行管理体制机制,调动管理人员积极性,从而推动存量设备的平台化运行管理,实现了全校存量通用设备的开放共享,全面提升资源使用效益。
高禄梅孙宇
关键词:共享平台开放共享
共1页<1>
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