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江苏工业学院信息科学与工程学院功能材料实验室

作品数:21 被引量:83H指数:6
相关作者:李格但迪迪范利宁陈汉松谢太斌更多>>
相关机构:电子科技大学机械电子工程学院中国民用航空飞行学院航空工程学院中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金江苏省自然科学基金中国民航飞行学院科研基金更多>>
相关领域:理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 21篇中文期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 11篇理学
  • 8篇一般工业技术
  • 3篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇氧化钒薄膜
  • 6篇离子束
  • 6篇离子束增强沉...
  • 6篇二氧化钒
  • 6篇二氧化钒薄膜
  • 5篇溶胶
  • 4篇多晶
  • 4篇溶胶-凝胶法
  • 4篇退火
  • 3篇多晶薄膜
  • 3篇氧化锌薄膜
  • 3篇钽酸锂
  • 3篇红外
  • 3篇VO
  • 3篇掺杂
  • 2篇多孔
  • 2篇热释电
  • 2篇相变
  • 2篇和光
  • 2篇P型

机构

  • 21篇江苏工业学院
  • 4篇电子科技大学
  • 2篇中国民用航空...
  • 1篇吉林大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇香港理工大学

作者

  • 20篇李金华
  • 13篇袁宁一
  • 5篇张德银
  • 5篇谢建生
  • 4篇黄大贵
  • 4篇范利宁
  • 4篇但迪迪
  • 3篇谢太斌
  • 3篇周懿
  • 3篇李坤
  • 3篇王秀琴
  • 2篇董政
  • 2篇陈汉松
  • 2篇赵蒙
  • 2篇付学成
  • 2篇郑巍峰
  • 1篇陈效双
  • 1篇曹大呼
  • 1篇陈王丽华
  • 1篇李格

传媒

  • 8篇江苏工业学院...
  • 2篇物理学报
  • 2篇红外与毫米波...
  • 2篇红外技术
  • 2篇微细加工技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇功能材料
  • 1篇材料导报
  • 1篇电子测量与仪...
  • 1篇科学技术与工...

年份

  • 3篇2009
  • 2篇2008
  • 5篇2007
  • 2篇2006
  • 5篇2005
  • 3篇2004
  • 1篇2003
21 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
离子束增强沉积Al-N共掺杂ZnO薄膜的制备被引量:1
2005年
用Al2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶。在Si和SiO2/Si衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积 膜作Ar+/N+注入,制备Al-N共掺杂氧化锌薄膜(ANZO)。在氮气氛中作适当的退火,可以方便地获得取向单一、结构致 密、性能良好的共掺杂ZnO薄膜。探索用IBED方法在Si和SiO2衬底上制备优质掺杂薄膜的可能性。初步研究了ANZO共掺 杂薄膜的结构、电学和光学性能。
谢建生李金华袁宁一陈汉松周懿
关键词:氧化锌薄膜退火离子束增强沉积
氧化锌薄膜的p型掺杂研究现状被引量:4
2005年
ZnO薄膜作为一种多用途的光电材料,一直受到国内外学术界的广泛关注。为了开发ZnO短波长光电器件,首要解决的 关键问题是氧化锌的p型掺杂。综述了目前国际上常用的氧化锌p型掺杂方法,对不同方法制备的p型ZnO薄膜的性能进行了 分析比较。
袁宁一李金华范丽宁周懿
关键词:氧化锌薄膜P型掺杂迁移率
新型钽酸锂薄膜热释电系数测试研究被引量:4
2009年
用溶胶-凝胶法在导电的Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了一种1μm厚的新型钽酸锂薄膜;采用直流电压对新制备的薄膜进行了极化;选择了电荷积分法,设计了与钽酸锂薄膜阻抗匹配的测试电路,组建了新的水浴搅拌加热的热释电系数测试系统,完成了薄膜的热释电系数测试。测试结果表明,钽酸锂薄膜有较好的热释电特性,在6V、15min极化条件下,测得热释电系数为122.8μC/m2K,测试精度为1.14%,说明新开发的测试系统对新材料热释电系数测试具有重要的实用价值。实验误差分析表明,采用适合的搅拌速度和加热功率、采用更高精度的温度传感器,设计完全匹配的测试电路,是进一步提高钽酸锂薄膜热释电系数测试精度的最有效途径。
张德银黄大贵李金华
关键词:热释电系数误差分析
ITO衬底上LiTaO_3薄膜的制备与介电特性被引量:8
2007年
用溶胶凝胶法在ITO衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的晶向、表面形态等作了表征;研究了不同溶剂对LiTaO3溶胶稳定性的影响和不同退火条件对LiTaO3薄膜结晶的影响;利用Al/LiTaO3/ITO结构,测试了薄膜的介电系数和介电损耗.结果表明:每层薄膜都晶化退火比交替使用焦化、结晶退火能生长出质量更好的LiTaO3薄膜;频率1KHz时,介电损耗约0.4,相对介电系数约53.并讨论了介电损耗增大的原因.
张德银黄大贵李金华李坤但迪迪董政
关键词:介电特性
离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展
2004年
用改进了的离子束增强沉积方法从V2 O5粉末直接制备了VO2 多晶薄膜 ,薄膜具有较高的温度系数和致密、稳定的结构。详细分析了成膜机理 ,介绍了薄膜工艺的优化、薄膜性能测试和理论模拟的主要结果。
李金华袁宁一
关键词:离子束增强沉积二氧化钒薄膜非制冷红外成像
退火对IBED氧化钒薄膜结构和性能的影响被引量:2
2004年
对离子束增强沉积(IBED)氧化钒薄膜作不同条件的退火,用X射线衍射分析薄膜的晶体结构;用电阻 温度测试分析了薄膜的热电阻温度系数。实验发现,沉积薄膜存在一个形成二氧化钒结构的临界结晶温度,该温度随薄膜制备时离子束增强沉积条件的不同而改变。退火温度低于临界结晶温度时,很难使薄膜结晶成二氧化钒结构;高于临界温度较多的退火或形成VO2结构后再长时间退火,都会使VO2多晶薄膜中的钒分解降价,使薄膜的结构退化、性能变差。IBED多晶VO2薄膜在室温附近的电阻温度系数可达到4%/K以上。
谢建生李金华袁宁一
关键词:氧化钒薄膜退火离子束增强沉积
Mg^(2+)掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响被引量:7
2007年
利用溶胶-凝胶法在(100)Si片和玻璃衬底上制备出Mg2+掺杂的ZnO(MgxZn1-xO)薄膜,研究了Mg2+掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响。XRD图谱表明,当x<0.30时,MgxZn1-xO薄膜为纤锌矿结构,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小,a逐渐增大,但晶胞体积V几乎不变;当0.3≤x<0.7时出现相分离;当x≥0.7时,MgxZn1-xO薄膜为MgO的立方相结构。紫外可见光透射光谱表明,Mg2+掺杂增大ZnO薄膜的禁带宽度,同时也提高可见光的透过率。
王秀琴袁宁一范利宁李金华
关键词:溶胶-凝胶法禁带宽度透过率
微测辐射热计的红外热响应模拟被引量:5
2006年
利用有限元法对微桥结构的测辐射热计进行了二维热模拟.定量地分析了探测单元的大小尺寸、支撑层的厚度,支撑臂的长度和宽度、引线材料的选取等对微测辐射热计探测单元在红外辐射下温度的变化和热响应的快慢情况.评估了真空封装对微测辐射热计红外响应的影响.同时作为比较对平板空腔结构的红外探测器也进行了分析.
袁宁一李格李金华陈效双
关键词:微测辐射热计有限元
退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响被引量:1
2007年
采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响。实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能。随着退火温度的升高,ZnO薄膜的晶粒增大,同时在室温下观察到明显的紫外发光现象,其紫外PL谱峰值变强,并有红移现象。
范利宁袁宁一李金华
关键词:ZNO薄膜溶胶-凝胶法光学性能退火温度
新型钽酸锂LiTa_3O_8粉体制备工艺研究
2008年
以乙醇钽和乙醇锂为原料用溶胶-凝胶法在1250℃烧结制备了LiTa3O8粉体;以碳酸锂和氧化钽为原料用固相反应法在1330℃制备了对比的LiTa3O8粉体。用XRD测试表征了新制备的LiTa3O8粉体的结构和特性。实验结果表明,两种方法制备的LiTa3O8粉体都具有正交相结构,但是溶胶-凝胶法比固相反应法制备的LiTa3O8陶瓷粉体具有更低的烧结温度和更高的粉体纯度。
张德银黄大贵李金华曹大呼李坤
关键词:溶胶-凝胶法固相反应法
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