东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
- 作品数：521 被引量：1,029H指数：12
- 相关作者：陈德英陈洁张会珍刘柯林董乔华更多>>
- 相关机构：合肥工业大学理学院南京信息工程大学电子与信息工程学院北方工业大学信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 一种新型电容式压力传感器(英文)被引量：7
- 2008年
- 提出了一种新的电容式压力传感器,传感器结构为由Al/SiO2/n-typeSi等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造,制造过程仅需三块掩模板.对不同边长传感器进行测试,在410～1010hPa的动态范围,边长为1000,1200和1400μm的压力传感器,相应灵敏度分别为1.8,2.3和3.6fF/hPa.边长为1500μm的传感器,其灵敏度为4.6fF/hPa,全程非线性度为6.4%,最大滞回误差为3.6%.分析结果表明介电常数变化是引起电容变化的主要原因.
- 黄晓东黄见秋秦明黄庆安
- 关键词：电容式压力传感器电致伸缩线性度
- 基于LCP柔性衬底的MEMS V型梁结构的设计制备与表征被引量：3
- 2020年
- 为探索在复杂环境应用中柔性衬底弯曲对V型梁结构力学特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底弯曲条件下MEMS V型梁结构的力学分析方法,对柔性MEMS V型梁器件的弯曲特性从软件仿真和实验验证两个方面进行深入的研究。揭示了MEMS V型梁衬底发生弯曲后,对器件驱动性能的影响。实验结果表明,当柔性衬底弯曲曲率从0增大到33.3 m^-1,V型梁热驱动器的驱动电流逐渐增大,测量值与仿真值的误差小于6.0%,与理论模型相符。
- 吝晓楠吴虹剑田蕾于洋韩磊
- 关键词：MEMS力学特性
- 近场热记录系统热响应过程的分子动力学仿真
- 本文采用非平衡态分子动力学(NEMD)仿真了近场热记录系统的热响应过程.对探针施加不同的作用力时,随着作用力的增加,基体的热响应明显加快,系统达到热平衡所需时间相应减少,可有效提高热机械数据存储速率.采用数值差分方法对一...
- 黄灵娟王玉娟陈云飞
- 关键词：非平衡态分子动力学
- 文献传递
- 超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料机理的耦合理论模型
- 2009年
- 基于电子能带理论,以动力论的Fokker_Planck方程为基础,从微观层次对超短脉冲激光烧蚀绝缘体材料的机理进行分析研究.源项中分别考虑了雪崩电离、多光子电离机制,并考虑了电子能量与散射机制对电子弛豫时间的影响.建立了绝缘体烧蚀机理的耦合数学模型,其计算的激光烧蚀临界能量密度阀值与实验结果很好的吻合.定量描述了超短脉冲激光对绝缘体材料烧蚀微观过程的影响.
- 林晓辉孙元征杨决宽陈云飞
- 关键词：超短脉冲激光雪崩电离多光子电离
- 一种用于MEMS器件的Au-In倒装焊技术被引量：2
- 2010年
- 介绍了Au-In键合在MEMS芯片封装中的应用。根据现有的工艺设备和实验条件对制备铟凸点阵列进行了工艺设计,对铟凸点制备技术进行了研究,最终在硅圆片上制备了6μm高的铟凸点阵列。在150～300℃下成功的进行了Au-In倒装键合实验。在300℃,0.3 MPa压力下键合的剪切强度达到了5 MPa。
- 陈明园孙萍李俊伍秦明
- 关键词：倒装焊
- 变截面纳米线声子输运蒙特卡洛模拟被引量：1
- 2010年
- 采用蒙特卡洛(MC)方法建立了声子在变截面硅纳米线内的输运模型,以渐扩几何体与渐缩几何体为物理模型,分别研究了在等热量与非等热量输入条件下2种模型的热整流效应和声子的输运特性.模拟结果表明在2种条件下,渐缩模型的热传导性能均高于渐扩模型.在非等热量输入的条件下,渐缩模型的热整流效应要大于等热量输入条件下的热整流效应.2种物理模型的主要区别在于体积的分布不同,虽然在纳米尺度下边界散射作用明显,但模拟结果表明边界散射对热传导的影响小于质量分布不同对声子输运的影响.
- 王赞赵睿杰陈云飞
- 关键词：纳米线变截面
- 基于TMAH溶液的PN结自停止腐蚀的研究
- 2010年
- MEMS器件的性能与尺寸密切相关。介绍了一种精确控制器件尺寸的各向异性腐蚀方法——基于改进TMAH溶液的PN结自停止腐蚀。这种方法几乎不刻蚀铝,从而与CMOS工艺良好地兼容。应用这种办法正面腐蚀,成功释放结构,尺寸与设计比较符合,证明了这种方法的可行性及易操作性。
- 李俊伍顾慧黄见秋秦明
- 关键词：四甲基氢氧化铵
- MEMS器件自动优化算法及其实现
- 2007年
- 研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正方法对器件进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标(5%)要求.最后采用Coventor Ware软件对优化结果进行了验证.
- 赖文滨李伟华
- 关键词：MEMS器件结构参数
- 纳米梁的动态特性研究
- 本文根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有的谐振梁振动的非线性模型作了修正.
- 宋震煜于虹黄庆安
- 关键词：非线性
- 文献传递网络资源链接
- 表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
- MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,本文阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的...
- 姜理利唐洁影
- 关键词：微悬臂梁MEMS
- 文献传递网络资源链接
