北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
- 作品数：98 被引量：212H指数：8
- 相关作者：贾玉斌张威袁勇于民赵前程更多>>
- 相关机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室天津大学精密仪器与光电子工程学院华南理工大学电子与信息学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
- 开启微纳传感领域的新天地——Transducers 2011国际会议综述
- 2011年
- 2011年6月5日至9日,第16届国际固态传感器、执行器与微系统会议(Transducers'11)在北京国家会议中心隆重召开。此次会议设有微纳传感器、微加工技术、生物、微能源等12个专题,共录用743篇文章,吸引了来自世界各地的1200多位专家、学者。本文将从大会特邀报告、微流体技术、圆片级加工技术、化学传感器、微能源装置等角度详细介绍此次会议的盛况,分析相关领域的研究现状及发展趋势,并对会议的影响进行总结和阐述。
- 孙旭明朱福运唐伟张晓升袁泉张海霞
- 关键词：MEMS新型传感器微系统
- 基于单幅扫描电镜图像的三维重建技术（英文）被引量：1
- 2013年
- 本文提出了一种对黑硅表面进行三维重建的方法.通过对扫描电子显微镜的成像原理进行建模,该方法可以只使用单幅从黑硅表面正上方垂直向下拍摄的扫描电子显微镜图像获得黑硅表面的三维信息.该方法简单易行.本文对这一方法进行了重建测试.测试结果表明该方法能够获得比较理想的重建效果.
- 王琦琦朱福运孙明竹张海霞赵新
- 关键词：三维重建微机电系统扫描电子显微镜
- 基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术被引量：8
- 2006年
- 针对MEMS(micro electro mechanicalsystem)和NEMS(nano electro mechanicalsystem)对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法不仅保留了传统基底弯曲法的所有优点,而且消除了其系统误差.使用ANSYS对测试结构进行了模拟和优化,对于30nm厚的薄膜,应力检测的分辨率为1.5MPa,优于目前国际上的相关报道.本测试结构使用各向异性腐蚀和DRIE(deepreactiveionetching)完成,加工工艺简单实用.文中使用该测试技术对常用MEMS薄膜的残余应力进行了测量,结果与其他测试方法得到的结果基本一致,测量重复性优于1%.该技术可以用于测试纳米级薄膜及超低应力薄膜的内应力.
- 王莎莎陈兢栗大超黄玉波李志宏
- 关键词：微机械系统内应力
- 面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计被引量：2
- 2008年
- 微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化。本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构。基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%。
- 黄杰西李修函于晓梅
- 关键词：微泵鳞片
- 一种三维立体传输结构的分段式设计方法
- 2020年
- 随着信号频率以及芯片集成密度的持续增长,三维集成系统内部面临严重的耦合噪声问题。针对三维集成技术中广泛使用的硅通孔(TSV)和水平重布线层(RDL)构成的三维互连结构,提出了一种基于分段传输线(STL)的三维互连结构优化设计方案。通过将三维互连结构传输线按STL模式划分为数个传输线片段生成复数反射波,并运用基因算法(GA)筛选片段特征信息,从而优化反射波叠加效果,实现对传输过程中产生的信号损失进行补偿。仿真结果表明,该方法可以有效改善三维互连结构中由于耦合噪声造成的信号反射问题,提升系统传输性能。
- 栗辰烨李振松缪旻
- Ti DRIE中Lag效应的基础研究
- 金属钛DRIE工艺是最近发展的一种新型MEMS加工工艺，这种技术利用感应耦合产生高密度等离子体对钛进行刻蚀，通常采用Cl2气体，无钝化周期，侧壁陡直光滑。它可以通过光刻图形定义在钛本体上加工高深宽比结构，利用金属钛良好的...
- 张乐吟赵刚舒琼田尧陈兢
- 关键词：金属钛感应耦合机械特性耐腐蚀性微机电系统
- 文献传递
- 微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜被引量：1
- 2021年
- 为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,改变CH_(4)、H_(2)、Ar气体比例以及衬底温度,在不同生长条件下制备了5组金刚石薄膜样品。5组样品分别使用ESEM和拉曼光谱进行成膜质量、形貌、结构以及组分的表征,分析了不同薄膜的成因和工艺参数的影响,并提出了进一步优化的方向。
- 林晨李义锋张锦文
- 关键词：纳米金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积
- 硅微机械扭转微镜的研究进展
- 硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.本文根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的研究现状与发展方向,同时重点讨论了硅微机械扭转微镜在医...
- 栗大超吴文刚闫桂珍傅星郝一龙胡小唐
- 关键词：MEMS器件压电驱动电磁驱动电热驱动静电驱动
- 文献传递
- 基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发被引量：13
- 2011年
- 为了快速评估微机械陀螺的性能参数,结合NI PXI 4461数据采集卡,用LabVIEW软件实现了陀螺信号处理算法和若干关键指标测试功能,包括陀螺扫频测试、闭环驱动控制测试、标度因数和零偏等相关性能测试。实验结果表明,该自动测试系统借助LabVIEW强大的信号处理功能以及灵活的在线调试大大地提高了陀螺芯片测试与筛选的效率,可以快速可靠地挑选出性能优良的陀螺芯片,对陀螺的生产加工具有重要的促进作用。
- 何春华崔健闫俊杰林龙涛王福娟郭中洋杨振川蔡志岗闫桂珍
- 关键词：微机械陀螺LABVIEW软件
- 聚酰亚胺牺牲层工艺的微机械加工技术研究
- 牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、膜或空腔结构的技术，广泛应用于MEMS器件与其读出电路的单片集成。可以作为牺牲层的材料主要包括SiN、SiO2和聚酰亚胺，表1为可能的牺牲层与结构层的组合。其中聚酰亚胺材料...
- 潘程于晓梅马盛林
- 关键词：聚酰亚胺微机械加工
- 文献传递
