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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所超导国家重点实验室
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相关领域:
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袁骏
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张宏
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杨根庆
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邹世昌
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毛应俊
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1篇
1997
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镍基合金上离子束辅助沉积双轴取向的YSZ膜—YBCO超导膜缓冲层
1997年
用双离子束辅助沉积(IonBeamAsistedDeposition,IBAD)方法在Ni-Cr合金上合成了具有(00l)择优取向,平面双轴排列的YSZ膜(Y2O3-ZrO2)作为YBCO超导膜缓冲层。辅助轰击离子束方向与衬底法线的夹角540左右时可获得最佳的(00l)择优效果。8000C高温退火后其结构有较大的改善。在其上用MOCVD方法生长的YBCO膜的Tc=88K,Jc=10×104A/cm2(0T,77K),并且从Φ扫描的结果说明了YSZ缓冲层上YBCO膜的生长机制。
袁骏
杨根庆
毛应俊
任琮欣
邹世昌
周锷猷
张宏
关键词:
IBAD
双轴取向
YBCO
超导薄膜
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