西安交通大学机械工程学院精密工程与光学测试技术研究所
- 作品数：123 被引量：456H指数：11
- 相关作者：禹忠梁志恒周志涛朱笠郭宏宾更多>>
- 相关机构：中原工学院机电学院湖南科技大学机电工程学院湖南科技大学机械设备健康维护湖南省重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 微压力传感器制作工艺对其性能的影响
- 影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对性能的影响.
- 蒋庄德岳彩青姚鹏赵玉龙
- 关键词：微压力传感器
- 文献传递
- 微内燃机点火和燃烧中微尺寸效应的研究被引量：1
- 2007年
- 从设计的微小空间燃烧室中,观察微燃烧通道中氢气/空气预混气体的燃烧现象,当空间尺寸从厘米级减小到毫米级时,点火和燃烧的不同特征会导致氢气的着火浓度界限变小,使得燃烧不稳定、不充分,极易造成淬熄.因此,提出了选用淬熄距离小、反应速度快、最小点火能小的气体作燃料,采取催化反应、增压和绝缘等措施促进微小空间内的点火和燃烧.通过分析微小空间对制备微型内燃机内平板电容点火器的限制,表明采用蒸发工艺制备的电极厚度小,因此增加电镀工艺,可使电极厚度达到4μm,明显提高了电容的单次放电能量.
- 任泰安张长富蒋庄德
- 关键词：点火燃烧
- 微流动注射式化学发光芯片
- 应用MEMS微加工技术，在基底材料上用标准的光刻工艺制作出微通道结构。以显影后的SU-8胶层作模具，采用软印加工制作了高深宽比PDMS微通道结构，经过等离子表面氧化改性实现了PDMS芯片的不可逆封装。利用流动注射化学发光...
- 王朝晖王小章叶鹏王腾
- 关键词：微流控芯片微流动注射PDMS光刻工艺
- 文献传递
- 一种基于微弯效应的光纤液位传感器的研制被引量：3
- 2003年
- 研制了一种用于测量储油罐油位的光纤传感系统,介绍了完整的研制过程。传感头是利用光纤的微弯效应制成的压力传感器,用耐油铝塑管对光纤和传感头进行封装。样机实测显示,最大非线性度为2.9%,灵敏度为14.5mV/10.8mV/kPa。本系统结构简单,成本低廉,非常适用于要求防燃、防爆和耐腐蚀等场合的液位测量。
- 高建忠赵玉龙蒋庄德祝彦朱笠
- 关键词：压力传感器液位测量光纤液位传感器
- 微纳加工技术在超微电极制备中的应用被引量：4
- 2006年
- 从电极材料、绝缘材料、薄膜的图形化等方面,评述了微纳加工技术在单超微电极和超微电极阵列制备中的应用。在单超微电极的制备中,随着微纳加工技术的引入,可以实现具有规则几何形状和微小电极尖端的单超微电极的重复性制备。
- 朱明智蒋庄德
- 纳米压入法测量中初始接触点判断问题研究
- 2003年
- 对于纳米压入法 ,在加载过程中 ,压头尖与试样表面的初始接触点必须判断准确 ,初始接触点判断的精度将对测量结果产生很大的影响。本文利用西安交通大学精密工程研究所研制的微力微位移测试仪 ,对初始接触点判断的相关问题进行了深入研究。在压头尖与试样表面接触前 ,由电容测微仪测得的位移值是加载装置空载下的输出值 ;而当压头尖与试样表面接触后 ,压头与试样之间将产生作用力 ,使电容测微仪的测量值偏离加载装置空载下的输出曲线趋势。分别用一直线和一多项式曲线对压头无载荷和有载荷作用时测得的电压位移曲线进行拟合 ,拟合直线和曲线的交点即可作为初始接触点。大量的实验表明 ,运用上述方法可使初始接触点的判断精度在± 10nm。
- 杨树明朱强赵则祥蒋庄德
- 关键词：接触点力学性能
- 一种新型光学探头的研制
- 1997年
- 本文提出一种新型的光学探头的设计方法，该光学探头可以同时用来测量某一镜面反射表面某一点的离面位移和两个角度。本文同时采用了一个小功率激光器为光源，一种新型的ＣＭＯＳ图象传感器为光电传感器件。通过相关分析法和数据拟合等图象处理技术，提高了整套系统的精度和分辨率。一个较为明显的优点是位移和角度的测量是互不影响的。实验证实了该方法位移测量时具有精度为±１５微米，分辨率５微米；角度测量时具有精度±２５秒，分辨率１０秒。
- 周剑骆德渊张广明谭玉山
- 关键词：光学探头传感器
- 开关触头钎焊质量的红外检测被引量：4
- 1995年
- 应用红外热像技术检测银触头的钎焊质量，从红外热图上可以发现钎焊缺陷部位。本文详细地分析了红外检测技术的各种影响因素。试验结果表明，红外热像检测是一种很有应用价值的方法。
- 张广明侯成刚赵明涛王裕文
- 关键词：红外探测红外热图钎焊
- 基于特征线的复杂曲面反求工程中的CAD建模技术
- 2004年
- 三维轮廓测量技术是实现反求工程的重要手段 ,复杂曲面建模技术是反求工程研究的重点内容。研究了激光线扫描测量原理以及“点云”数据类型。针对栅格点数据 ,提出了一种快速有效的复杂曲面建模技术 ,并以实例说明“点云”数据平滑处理、特征线提取。
- 隋连升王晓强蒋庄德
- 关键词：复杂曲面反求工程CAD建模三维轮廓测量曲面构造
- 三维微力探针传感器技术研究被引量：2
- 2009年
- 结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器。通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点。并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精度可达到0.2%FS,干扰误差≤0.3%FS.
- 王鑫垚吴伟林启敬赵玉龙
- 关键词：MEMS压阻效应探针
