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长州产业株式会社

作品数：33 被引量：0H指数：0
相关机构：三井造船株式会社株式会社日本微拓科技安内华株式会社更多>>
相关领域：金属学及工艺文化科学一般工业技术电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 33篇中文专利

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 12篇基板
  • 10篇掩模
  • 7篇膜厚
  • 6篇均匀性
  • 6篇夹头
  • 5篇膜厚均匀性
  • 5篇硅薄膜
  • 4篇元件
  • 4篇控制板
  • 4篇夹具
  • 4篇本征
  • 4篇磁铁
  • 3篇透明导电
  • 3篇坩埚
  • 3篇冷剂
  • 3篇溅射
  • 3篇光伏
  • 3篇分子
  • 2篇等腰
  • 2篇等腰三角形

机构

  • 33篇长州产业株式...
  • 10篇三井造船株式...
  • 5篇株式会社日本...
  • 4篇安内华株式会...
  • 2篇东陶机器株式...
  • 1篇纳美仕有限公...

年份

  • 4篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2017
  • 4篇2015
  • 2篇2014
  • 5篇2010
  • 2篇2009
  • 6篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2005
  • 1篇2003
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
蒸镀装置、蒸镀方法和控制板
本发明提供蒸镀装置、蒸镀方法和控制板。所述蒸镀装置设计成能形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜、对大型基板也能够进行良好的蒸镀。所述蒸镀方法使用所述蒸镀装置，所述控制板能进行所述的蒸镀。本发明的蒸镀装置包括蒸镀源，所述蒸镀源...
山下和吉末永真吾滨永教彰
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光发电装置
本发明的目的是提供填充因子高的光发电装置。光发电装置(10)包括：多层状的光伏元件(11)；以及层叠在光伏元件(11)的一个面上的第一集电构件(12)和层叠在另一个面上的第二集电构件(13)，光伏元件(11)包括：n型晶...
小林英治
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蒸镀用坩埚、蒸镀源和蒸镀装置
本发明提供蒸镀用坩埚以及具备这种蒸镀用坩埚的蒸镀源和蒸镀装置，可以抑制蒸镀材料向开口部及其周边析出，从而使蒸镀材料稳定扩散。所述蒸镀用坩埚具有开口部并利用感应加热进行加热，开口部侧部分由通过感应加热引起的温度上升比其他部...
末永真吾滨永教彰政田英昭
静电吸盘组件和冷却系统
提供一种用于半导体制造装置的静电吸盘组件，其可用水冷却，并且不发生穿透泄漏。通过调节Cu基复合材料中的具有大的热膨胀系数的Cu和Ni以及具有小的热膨胀系数的W和Mo的比，可以得到具有与用于静电吸盘的氧化铝材料相同的热膨胀...
建野范昭宫地淳佐护康实池田真义金子一秋高村富夫平山唯志池村芳之田丸正彦
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成膜装置的基板安装方法以及成膜方法
一种成膜装置的基板安装方法，其在成膜装置上设置蒸发源和与该蒸发源相对的夹头(14)，将基板安装保持在所述夹头(14)上，其中，在配置于所述夹头(14)与所述蒸发源之间的掩模(28)上载置玻璃基板(26)，使所述掩模(28...
片冈达哉长尾兼次齐藤谦一
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薄膜沉积用分子束源装置和分子束沉积薄膜的方法
本发明提供一种薄膜沉积用分子束源装置和分子束沉积薄膜的方法，通过加热蒸发材料(5)、使该蒸发材料(5)熔融后蒸发，产生用于在固体表面上生长薄膜的蒸发分子。该分子束源装置具有装有蒸发材料(5)的坩埚(1)和加热装在该坩埚(...
水上时雄斋藤建勇城户淳二
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成膜装置、成膜方法以及有机电发光元件的制造方法
一种成膜装置、成膜方法以及有机电发光(EL)元件的制造方法。成膜装置是包括成膜材料的供应源和形成所述成膜材料的膜的基板的成膜装置，其包括：能够在相对于所述基板的表面进行接近及离开的方向移动而配置在所述基板的表面侧的掩模(...
片冈达哉长尾兼次齐藤谦一
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光发电装置
本发明的目的是提供填充因子高的光发电装置。光发电装置(10)包括：多层状的光伏元件(11)；以及层叠在光伏元件(11)的一个面上的第一集电构件(12)和层叠在另一个面上的第二集电构件(13)，光伏元件(11)包括：n型晶...
小林英治
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掩模保持机构以及成膜装置
一种掩模保持机构和成膜装置。掩模保持机构是覆盖在被安装保持于成膜装置的夹头(14)上的基板的掩模(24)的掩模保持机构，上述掩模(24)由磁性体形成，在与保持上述夹头(14)的上述基板的夹头面的相反侧，将磁铁(16)以点...
片冈达哉长尾兼次齐藤谦一
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成膜装置、成膜方法以及有机电发光元件的制造方法
一种成膜装置、成膜方法以及有机电发光(EL)元件的制造方法。成膜装置是包括成膜材料的供应源和形成所述成膜材料的膜的基板的成膜装置，其包括：能够在相对于所述基板的表面进行接近及离开的方向移动而配置在所述基板的表面侧的掩模（...
片冈达哉长尾兼次齐藤谦一
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