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新疆天科合达蓝光半导体有限公司
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2009
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一种从碳化硅晶体打磨废料中提取金刚石磨料的方法
本发明公开了一种从碳化硅晶体打磨废料中提取金刚石磨料的方法,包括:将碳化硅晶体打磨废料加入浓度为10-20%的硫酸溶液中,至少浸泡24h,使碳化硅晶体打磨废料和硫酸溶液反应完全后静置沉淀;将静置沉淀后的上清液倒出后,使用...
李坚
陈蛟
陈斌
邹宇
孟宪府
一种低氮含量碳化硅粉料的制备方法及碳化硅单晶
本发明提供了一种低氮含量碳化硅粉料的制备方法及碳化硅单晶,制备方法包括以下步骤:将高纯硅粉、高纯石墨粉与易挥发高纯有机物混合,在惰性气氛下待易挥发高纯有机物挥发至初始质量的10%以下,将混合物料烧结,得到低氮含量碳化硅粉...
娄艳芳
刘春俊
杨帆
姜克勇
邹宇
赵宁
王波
彭同华
杨建
一种位错检测系统
本申请公开了一种位错检测系统,所述位错检测系统采用对焦模块按照预设路径向待测样品出射探测光线,并接收所述待测样品反射的所述探测光线,并根据接收的所述探测光线形成探测图像,然后利用数据处理模块基于图像处理技术对所述待测图像...
娄艳芳
刘春俊
彭同华
王波
赵宁
杨建
张平
邹宇
杨帆
一种导电型碳化硅单晶及其制备方法
本发明提供了一种导电型碳化硅单晶,掺杂元素包括氮和原子半径大于硅的原子半径的元素;所述导电型碳化硅单晶的电阻率为0.01Ω·cm~0.05Ω·cm;所述原子半径大于硅的原子半径的元素的掺杂浓度为氮元素浓度的0.1%到10...
刘春俊
雍庆
娄艳芳
赵宁
姚静
王波
彭同华
杨建
一种电阻率均匀的半绝缘型碳化硅晶片及其制备方法
本发明提供了一种电阻率均匀的半绝缘型碳化硅晶片及其制备方法,所述半绝缘型碳化硅晶片的整体范围内,电阻率的相对标准偏差小于70%,电阻率的最小值大于1×10<Sup>6</Sup>Ω·cm。本发明还提供了一种上述技术方案所...
刘春俊
姚静
赵宁
彭同华
杨建
DJL-600型碳化硅单晶炉运行维护与故障排除
2016年
介绍了DJL-600型碳化硅单晶炉的基本结构和电气控制系统的工作原理,结合实际工作经验和设备的结构特点阐述了DJL一600型单晶炉的维护和常见故障排除方法。
杜广平
一种高结晶质量碳化硅单晶片及其制备方法
本发明提供了一种碳化硅单晶片,所述碳化硅单晶片的原子面向C面弯曲,Si面原子面的弯曲度大于C面原子面的弯曲度。本发明提供了一种(0001)原子面向C面弯曲,且Si面原子面弯曲度大于C面原子面弯曲度的碳化硅单晶片,以本发明...
娄艳芳
刘春俊
王光明
姚静
雍庆
赵宁
彭同华
杨建
文献传递
用于生长SiC晶体的SiC原料的制备方法和制备装置
提供用于生长SiC晶体的SiC原料的制备方法和装置。该方法包括:将SiC粉料装入第一石墨坩埚中,在第一石墨坩埚上倒置安装第二石墨坩埚;将安装好的两个石墨坩埚放入加热装置中,将加热装置抽真空并升温至预设温度;其中,第一石墨...
彭同华
刘春俊
王波
张平
邹宇
赵宁
文献传递
一种在含氧气氛下生长高质量碳化硅晶体的方法
本发明公开了一种在含氧气氛下生长高质量碳化硅晶体的方法,其包括将装有碳化硅原料、籽晶的石墨坩埚放入SiC晶体生长炉,将含氧的气体如二氧化碳或氧气通过管道直接引入到石墨坩埚,从而生长出高质量碳化硅晶体。相比于常规的气相传输...
刘春俊
彭同华
王波
赵宁
文献传递
一种高质量低缺陷碳化硅单晶、其制备方法及应用
本发明提供了一种高质量低缺陷碳化硅单晶片,且含有氮;碳面中的氮浓度低于硅面中的氮浓度,且氮浓度在晶片厚度方向上,随着距碳面的距离的增大而增加。本发明中的碳化硅单晶晶片能够保证向碳面凸起弯曲。此种向碳面凸起弯曲的结构在晶体...
刘春俊
姚静
雍庆
娄艳芳
赵宁
王波
彭同华
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