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北京航天微电科技有限公司
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用于声表面波滤波器中磁控溅射的剥离方法
本发明公开了用于声表面波滤波器中磁控溅射的剥离方法,涉及微电子领域。该方法包括:通过旋涂光刻胶前,先旋涂聚酰胺酸,进行烘烤得到0.5μm厚的聚酰胺酸。然后在固化后的聚酰胺酸薄膜上旋涂正性光刻胶,再进行接触式曝光,显影,通...
袁燕
孟腾飞
徐浩
倪烨
张倩
王君
吴兵
张玉涛
闫彬
一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法
本发明涉及一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法,具有加热测温功能的湿度传感器包括控制芯片、基底、湿度敏感电容、加热电路和测温电路,当湿度传感器的温度较低时即测温电路所采集的温度低时,通过控制芯片导通加热电路,使加...
张倩
边旭明
林树超
徐浩
黄晓杰
陈伟
邓娟
郭振杰
文献传递
一种支援干扰系统及机载多频段干扰设备
本实用新型涉及一种支援干扰系统及机载多频段干扰设备,涉及对雷达进行干扰的干扰设备领域,支援干扰系统的箱体底部具有敞口,散热片与箱体固定连接且位于敞口内,功率放大器组件与散热片顶面固定连接,支撑架与散热片固定连接并位于功率...
张翔南
周兰
常换梅
一种卷线装置
本实用新型属于卷线设备领域,公开了一种卷线装置,包括底座和卷线盘,所述卷线盘水平设置在所述底座的上方,所述卷线盘下端中部通过一根立轴与所述底座转动连接,所述卷线盘的上端边缘处环向间隔均匀的设有多个竖向设置的绕杆,转动所述...
赵晨竹
孙江超
卢鹏程
张昊
一种硅基腔体屏蔽滤波器
本发明涉及一种硅基腔体屏蔽滤波器,采用MEMS工艺制成;包括第一基片、第二基片、中间层和金属悬置电路,第一基片和第二基片分别采用高阻硅基片,第一基片、中间层和第二基片依次层叠设置并结合成一硅腔结构;中间层上设有微波接地电...
董鹏
文献传递
一种SAW芯片及其制备方法、制备系统
本发明公开了一种SAW芯片及其制备方法、制备系统,涉及SAW技术领域。该制备方法包括:在衬底上制备叉指图层,得到SAW晶圆,叉指图层包括:内部电极、汇流条、外部电极和叉指图形,叉指图形由外部电极的突出部分别与汇流条的突出...
孟腾飞
史向龙
王永安
徐浩
陈瑞
边旭明
段斌
文献传递
电极制作方法、电极和半导体器件
本发明提供一种电极制作方法、电极和半导体器件,属于半导体器件领域,方法包括在硅衬底表面溅射预设厚度的电极层;调整光刻机的曝光参数,通过调整后的光刻机在电极层的表面制备侧壁呈斜坡结构的光刻胶图形,其中,调整后的光刻机发出的...
陈晓阳
倪烨
姚光强
孟腾飞
于海洋
王永安
孙志国
一种用于导电用途的防转螺栓组件
本发明涉及一种用于导电用途的防转螺栓组件,包括:螺栓,所述螺栓又下至上依次包括螺栓帽、方形螺杆和圆形螺杆,所述螺栓帽、方形螺杆和圆形螺杆之间固定连接或者一体成型,所述圆形螺杆的外表面设有螺纹;压线组件,所述压线组件与套接...
杨子森
潘雄文
张中元
李琦
文献传递
一种基于交指结构的高陡降度薄膜滤波器
本实用新型提供了一种基于交指结构的高陡降度薄膜滤波器,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板的下一层为金属接地层,所述陶瓷基板的上一层包括九个终端短路的交指谐振器形成的电路,所述基板周围设置有多个贯通的接地通孔;对于每个所述交指谐振...
张志悦
魏家贵
范佰杰
史向龙
曹玉
任秀娟
叉指换能器加权方法、装置、叉指换能器及声表滤波器
本发明公开了一种叉指换能器加权方法,包括:对叉指换能器进行切趾加权,得到切趾加权换能器;当所述切趾加权换能器的指条长度满足预设激活条件时,按照预设加权规则和预设停止条件,对所述切趾加权换能器进行自适应抽指加权,得到至少一...
王永安
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陈浩
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苗峰维
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