您的位置： 专家智库 > >

深圳市路维光电股份有限公司

作品数：83 被引量：0H指数：0
相关机构：东海县奥博石英制品有限公司中国建筑材料科学研究总院有限公司华能(泰安)光电科技有限公司更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程轻工技术与工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 79篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇化学工程
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇医药卫生
  • 1篇农业科学
  • 1篇理学

主题

  • 29篇掩膜
  • 28篇掩膜版
  • 14篇铬
  • 9篇夹具
  • 9篇光刻
  • 8篇夹持
  • 7篇显影
  • 6篇基板
  • 5篇顶面
  • 5篇光阻
  • 5篇玻璃基
  • 5篇玻璃基板
  • 4篇制程
  • 4篇贴片
  • 4篇图案
  • 4篇清洗方法
  • 4篇清洗剂
  • 4篇脱膜
  • 4篇滑块
  • 4篇光刻机

机构

  • 83篇深圳市路维光...
  • 1篇山东省科学院
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇河源市信大石...
  • 1篇东旭集团有限...
  • 1篇杭州虹谱光色...
  • 1篇武汉锐科光纤...
  • 1篇长飞光纤光缆...
  • 1篇杭州永特信息...
  • 1篇内蒙古欧晶科...
  • 1篇浙江浩锐石英...
  • 1篇江苏亨通光导...
  • 1篇中天科技精密...
  • 1篇江苏奥蓝工程...
  • 1篇深圳清溢光电...
  • 1篇上海传芯半导...
  • 1篇中航复合材料...
  • 1篇华能(泰安)...
  • 1篇中国建筑材料...
  • 1篇东海县奥博石...

传媒

  • 1篇电子测试
  • 1篇电子质量

年份

  • 4篇2024
  • 6篇2023
  • 4篇2022
  • 18篇2021
  • 5篇2020
  • 14篇2019
  • 6篇2018
  • 6篇2017
  • 5篇2016
  • 14篇2015
  • 1篇2014
共 83 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
光罩清洗治具
本实用新型涉及一种光罩清洗治具，包括中空且两端开口的轴套、借助于轴承固定安装于轴套内且两端分别自轴套两端的开口伸出的芯轴、固定于芯轴的自轴套的底端开口伸出的一端上的刷具，芯轴的自轴套顶端开口伸出的一端与驱动芯轴旋转的旋转...
杜武兵林伟黄国勇
文献传递
支撑治具及清洗设备
本发明公开了一种支撑治具及清洗设备。支撑治具用于光罩清洗时承载光罩，支撑治具包括载具本体，载具本体具有相对的上表面和下表面，载具本体的中部设有：第一通槽，第一通槽用于容纳光罩，且收容于第一通槽内的光罩的上表面高于载具本体...
刘猛司继伟杜武兵
文献传递
光罩清洗剂及清洗方法
本发明涉及一种光罩清洗剂及清洗方法，所述清洗剂按重量百分比包括以下成分：对氯间二甲苯酚0.5~1.5wt%；脂肪醇聚氧乙烯醚3~5wt%；乙二醇8~10wt%；及余量是水。所述清洗方法包括：将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘...
杜武兵林伟吕振群
文献传递
掩模版修复控制方法、装置及计算机可读存储介质
本发明实施例涉及一种掩模版修复控制方法、装置及计算机可读存储介质，所述方法包括以下步骤：读取待修复掩膜版的实际图像，从所述实际图像中提取待修复区域的图形并保存为第一图形；读取参照图像，从所述参照图像中选定与所述待修复区域...
杜武兵林伟司继伟
文献传递
石英玻璃光谱透射比试验方法
本文件规定了石英玻璃光谱透射比试验方法的原理、仪器设备、试样、试验步骤、数据处理、试验报告。本文件适用于石英玻璃光谱透射比的测试，其他材料参照使用。
王京侠吴洁秦卫光张锦沈一春陈娅丽杜兴林欧阳琛于春花张祖义于天来聂兰舰符博刘焕敏李心意陈辰王一礴黄丽莎孔凡昌孙洋吴仪温冯涛曹海平赵培芝李弋舟李青熊启龙张磊闫大鹏彭志强秦敬凯刘军尚盈崔郁司继伟王友兵叶伟洋汤芳张浩运张春林钱宜刚回爽杨晓会凃昊赵奕泽顾海波胡恒广李榕郭浩林王雪明叶超祺杨学东
铬版贴片治具及方法
本发明实施例提供一种铬版贴片治具及方法，所述治具包括基板，基板顶面设有用于放置铬版的铬版定位区，基板顶面还设有自基板靠一侧边处向基板中部对应于铬版上的标识点的位置延伸的滑槽，铬版放置于铬版定位区内时铬版需贴片部位盖于滑槽...
杜武兵林伟孙多卫
文献传递
灰阶掩膜版制作方法
本发明实施例提供一种灰阶掩膜版制作方法，包括以下步骤：在基板一侧表面形成灰阶层；在所述灰阶层表面形成遮光层；在所述遮光层表面形成光阻层；对形成所述光阻层后的半成品进行初次曝光；对初次曝光后的半成品进行初次显影；对初次显影...
杜武兵林伟郑宇辰
文献传递
一种功能型掩膜版及其制备工艺、应用
本发明涉及掩膜版制造技术领域，具体公开了一种功能型掩膜版及其制备工艺、应用，功能型掩膜版中的缓冲层在涂胶前，直接采用磁控溅射镀在图案层上，然后采用湿刻蚀工艺去除图案层待刻蚀位置所对应的缓冲层。本发明改变传统功能型镀膜制作...
刘玉闯司继伟杜武兵
贴光学膜压版工具
本实用新型实施例提供一种贴光学膜压版工具，包括用于放置光学膜的基板、设于所述基板上用于将待贴膜工件支撑悬置于光学膜上方的弹性支撑件、固定于基板上以定位待贴膜工件的定位组件以及用于对弹性支撑件承载的待贴膜工件施力以克服弹性...
杜武兵林伟孙多卫
文献传递
用于掩膜版缺陷修补的方法及装置
本发明公开了一种用于掩膜版缺陷修补的方法及装置，涉及芯片生产技术，包括以下步骤：对显影后的掩膜版的感光胶面进行缺陷识别，得到所述掩膜版上的若干个缺陷的位置信息和尺寸信息；根据各所述缺陷的所述尺寸信息确定感光胶量；根据各所...
吕振群司继伟杜武兵
文献传递
全选 清除 导出
共9页<123456789>
聚类工具0