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吉姆西半导体科技(无锡)有限公司

作品数：131 被引量：0H指数：0
相关机构：厦门云天半导体科技有限公司更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：建筑科学自动化与计算机技术交通运输工程电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 130篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇建筑科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 49篇晶圆
  • 13篇半导体
  • 11篇电镀
  • 11篇抛光
  • 10篇挂具
  • 9篇传感器
  • 8篇热交换
  • 8篇感器
  • 8篇传感
  • 6篇端壁
  • 6篇平坦化
  • 6篇热交换器
  • 6篇装载
  • 5篇电机
  • 5篇真空吸盘
  • 5篇涂胶
  • 5篇组件
  • 4篇压板
  • 4篇研磨
  • 4篇研磨盘

机构

  • 131篇吉姆西半导体...
  • 1篇厦门云天半导...

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 6篇2024
  • 48篇2023
  • 21篇2022
  • 14篇2021
  • 15篇2020
  • 11篇2019
  • 4篇2018
  • 8篇2017
  • 4篇2016
共 131 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统
本发明是一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统，其结构包括摆动轴和安装在摆动轴顶端的刷臂，刷臂传动连接刷洗本体，刷洗本体下方为真空吸盘，真空吸盘底面连接旋转马达活动端，真空吸盘顶面上放置晶元，控制器分别与刷臂、刷洗本体及旋...
夏俊东莫科伟谭金辉
文献传递
晶圆平坦化设备晶圆传送机构
本实用新型是晶圆平坦化设备晶圆传送机构，其结构包括晶圆传送机构本体，晶圆传送机构本体安装在晶圆装载卸载平台和晶圆传送中转平台外侧的主机架上，晶圆传送机构本体的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台与晶圆传送中转平台。本实用新型的...
谭金辉徐海强夏俊东康雷雷
文献传递
一种液体受热汽化度观测装置
本实用新型涉及液体受热汽化度观测技术领域，尤其涉及一种液体受热汽化度观测装置，一种液体受热汽化度观测装置，包括中箱，所述中箱的前端底部开设有穿口，且穿口的内侧安装有密封圈，所述密封圈的端侧安置有贴片，且贴片的前端安装有密...
钱永明凌晓仁徐文彬
一种用于去胶机的电阻加热棒结构
本实用新型涉及去胶机技术领域，尤其涉及一种用于去胶机的电阻加热棒结构，一种用于去胶机的电阻加热棒结构，包括电阻加热棒，所述电阻加热棒的顶部安装有螺纹杆，且螺纹杆的顶部安置有接套，所述接套的底端壁开设有套口，所述接套的顶部...
杨利斌王富斌金凡奎莫科伟
化学机械研磨设备防碰撞侦测系统
本发明属于化学机械研磨设备技术领域，具体的说是化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，包括支撑单元和打磨单元；支撑单元包括转轴、转盘和研磨垫；支撑单元的一侧打磨单元；打磨单元包括转动杆、横杆、电机和研磨头；电机与研磨头之间设有圆...
李峰刘宇龙
多材料衬底晶圆离子注入系统
本发明公开了一种多材料衬底晶圆离子注入系统，包括离子注入模块、工艺腔室、气密室、取片机械手、晶圆终端平台以及控制系统，第一气密室用于冷却晶圆，所述第二气密室包括预热台、外门、内门以及真空泵，控制系统包括主控模块、温控模块...
栾广庆
抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法
本发明提供抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法，抛光台的上抛光盘包括至少一个第一定位槽，下抛光盘包括至少一个第一定位件，抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，第一环形件可...
杨玉恒桂查明
热交换器
1.本外观设计产品的名称：热交换器。;2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于热量的交换来实现温度控制。;3.本外观设计产品的设计要点：在于后视图。;4.最能表明设计要点的图片或照片：后视图。;5.本外观设计产品的顶...
李松松莫科伟孙劲松
化学机械抛光工艺抛光垫的修整器
本实用新型提供一种化学机械抛光工艺抛光垫的修整器，包括外壳和修整轮；所述修整轮通过转轴安装在外壳上，修整轮的下部突出于外壳下部开口；修整轮包括转轮和磨粒；磨粒分布于转轮的周向表面；还包括空洞或喷嘴，用于分别连接高压气管或...
黄荣燕
文献传递
晶圆平坦化设备研磨头旋转机构
本发明是晶圆平坦化设备研磨头旋转机构，其结构包括研磨头旋转机构本体，研磨头旋转机构本体连接研磨头组件，研磨头旋转机构设置在研磨盘侧面，研磨盘侧面还设有晶圆装载卸载平台，研磨头旋转机构旋转轨迹经过晶圆装载卸载平台和研磨盘中...
康雷雷徐海强夏俊东谭金辉
文献传递
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