中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 作品数：13,185 被引量：11,295H指数：30
- 相关作者：宋志棠赵建龙王跃林谢晓明李昕欣更多>>
- 相关机构：南通大学附属医院曲阜师范大学物理工程学院上海交通大学电子信息与电气工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学电气工程更多>>
- 基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术
- 2023年
- 传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技术。该技术通过磁性TEM芯片和配套的样品杆,在TEM内形成一个密闭空间。将磁性样品上载到磁性TEM芯片上,从而实现在TEM下对磁性样品的安全观测。该芯片的核心结构是可以透射电子束的超薄氮化硅窗口,该窗口采用低压化学气相沉积(LPCVD)法制备,具有极高的机械强度,最高可以承受接近400 kPa的气压差。实验结果表明,利用该TEM表征技术可以在TEM下成功观测铁包硅和NiO两种磁性材料,分辨率可以达到原子级。
- 殷智伟张学林姚镭于海涛李昕欣
- 关键词：磁性材料氮化硅薄膜
- PZT铁电薄膜的溶胶凝胶法制备、退火行为及其物理性质的研究
- 宋世庚
- 关键词：铁电薄膜溶胶凝胶法退火行为物理性质
- 高稳定K波段锁相频率合成器关键技术及其应用
- 本文以微波锁相频率合成器及其呼吸心跳测试多普勒雷达应用为背景，开展了高稳定度K波段锁相频率合成器的关键技术研究与实现和呼吸心跳测试多普勒雷达的实验工作。
微波锁相频率合成器是雷达、通信、电子对抗和测试测量等微波系统...
- 郑淑启
- 关键词：频率合成器微波锁相多普勒效应多普勒雷达
- 文献传递
- 一种复合衬底的电声换能结构及其制备方法和应用
- 本发明涉及一种复合衬底的电声换能结构及其制备方法和应用，所述结构包括：提供一支撑衬底(1)；位于所述支撑衬底(1)上方的压电薄膜(2)；位于所述压电薄膜(2)上方的金属电极；所述金属电极由第一汇流条(3)和第二汇流条(4...
- 欧欣隋东辰张师斌郑鹏程孙米静
- 一种提高匀胶平整性及均匀性的方法
- 本发明涉及一种提高匀胶平整性及均匀性的方法，包括如下步骤：提供任意衬底，将吸附性材料固定在衬底边缘，形成结合体；将结合体吸附在匀胶机上匀胶，即得到表面胶层厚度均匀的衬底。本发明解决了现有光刻技术中因胶层厚度不均匀导致的掩...
- 丁惠凤陈志蓥李彩艳孙浩高秀丽
- 一种低应力氮化铝压电薄膜的生长方法
- 本发明提供一种低应力氮化铝压电薄膜的生长方法，所述生长方法至少包括：1)提供硅衬底，图形化刻蚀所述硅衬底；2)进行第一次热处理，所述刻蚀形成的刻蚀孔的上表面逐渐闭合，在所述硅衬底中形成分立的空腔结构；3)进行第二次热处理...
- 母志强姜文铮赵佳李卫民俞文杰
- 基于人眼视觉注意机制的仿生双眼目标识别与跟踪方法
- 本发明涉及一种基于人眼视觉注意机制的仿生双眼目标识别与跟踪方法，包括：仿生双眼装置对当前场景进行检测；构建实例级分割网络、和显著性注视点检测网络以及人体姿态检测网络；将当前场景的图像信息输入所述实例级分割网络，得到当前场...
- 陈利利谭锦钢李嘉茂王开放张晓林
- 文献传递
- 一种心肌缺血特征参数提取方法及系统、存储介质及终端
- 本发明提供一种心肌缺血特征参数提取方法及系统、存储介质及终端，包括以下步骤：基于多通道心磁图仪的各个通道所获取的磁场强度和通道位置，获取T波波段的等磁图和电流密度图；基于所述等磁图和所述电流密度图提取时域特征参数；对多通...
- 陶蓉张树林张朝祥谢晓明
- 文献传递
- 一种快速检测多种致病菌的方法
- 本发明提供了一种快速检测多种致病菌的方法，其特征在于首先是制备双功能复合纳米球。然后，分别将不同尺寸的量子点和复合功能纳米球与可以特异性识别目标菌的单克隆抗体连接，得到几种能够与目标菌表面抗原进行抗原-抗体反应的免疫量子...
- 葛玉卿金庆辉毛红菊赵建龙
- 文献传递
- 半定量同时检测cTnI和Myo的免疫层析试纸条及其制备
- 本发明涉及一种半定量同时检测cTnI和Myo的免疫层析试纸条及其制备方法，试纸条包括底板、硝酸纤维素膜、第一结合垫、第二结合垫、样品垫和吸水垫。制备方法包括在底板上依次相互交错黏贴经预处理的硝酸纤维素膜、第一结合垫、第二...
- 毛红菊祝继敏金庆辉赵建龙朱大年
