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国家高技术研究发展计划(2002AA404150)

作品数：5 被引量：27H指数：2
相关作者：陈迪孙洪文刘景全伊福廷彭良强更多>>
相关机构：上海交通大学中国科学院河海大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目上海市科委重大科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

领域

  • 14个电子电信
  • 12个电气工程
  • 12个一般工业技术
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  • 10个机械工程
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  • 2个轻工技术与工...

主题

  • 13个光刻
  • 12个微机电系统
  • 10个电铸
  • 10个英文
  • 9个电机
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  • 6个自组装
  • 6个酰亚胺
  • 6个微机电技术
  • 5个电池
  • 5个电火花
  • 5个电火花加工
  • 5个电泳芯片

机构

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资助

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传媒

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  • 4个电子元件与材...

地区

  • 7个上海市
  • 5个北京市
  • 1个天津市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩勇
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 掩模 电火花加工 LIGA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙洪文
供职机构：河海大学物联网工程学院
研究主题：纳米压印 母板 纳米图案 微机电系统 微电子工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张菊芳
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 电火花加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭良强
供职机构：中国科学院
研究主题：LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李建华
供职机构：上海交通大学
研究主题：网络安全 信息安全 网络 入侵检测 计算机网络
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾盼
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 纳米压印 防粘连 表面能 RIE
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄军容
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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