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国防科技技术预先研究基金(41308050102)
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相关作者:
单光宝
阮晓明
耿增建
姚军
魏海龙
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相关机构:
西安微电子技术研究所
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国防科技技术预先研究基金
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单光宝
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
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所获资助
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魏海龙
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:静电保护电路 双极型 双极工艺 低温漂 负电源
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耿增建
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:硅微加速度计 噪声 加速度计 差动电容 硅
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阮晓明
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:石英挠性加速度计 差动电容 伺服电路 力矩器 标度因数
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刘佑宝
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:砷化镓 MESFET SOI 模型参数 PD_SOI
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姚军
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS 掩膜 硅微加速度计 高抗 红外测温
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