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中国博士后科学基金(20060390064)
作品数:
1
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相关作者:
张振宇
雒建斌
路新春
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张振宇
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光 抛光液 超精密加工 透射电镜
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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