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国家高技术研究发展计划(2002AA404500)

作品数：6 被引量：16H指数：2
相关作者：刘理天任天令于毅杨轶张宁欣更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

  • 16个国家高技术研...
  • 13个国家重点基础...
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传媒

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  • 4个中国机械工程
  • 4个材料导报
  • 4个电子器件
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地区

  • 8个北京市
  • 7个四川省
  • 1个陕西省
共 16 条 记 录，以下是 1-10
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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任天令
供职机构：清华大学
研究主题：铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨轶
供职机构：清华大学
研究主题：电极 场效应晶体管 石墨烯 铁电薄膜 铁电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宁欣
供职机构：清华大学
研究主题：铁电薄膜 MEMS 压电薄膜 锆钛酸铅 PZT铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于毅
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：氮化铝薄膜 ALN薄膜 直流磁控反应溅射 硅基 ALN
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏锦
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王刚
供职机构：电子科技大学
研究主题：微波介质陶瓷材料 微波介质陶瓷 低损耗 非高斯噪声 功能陶瓷材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯生根
供职机构：清华大学
研究主题：PZT铁电薄膜 退火制度 溶胶凝胶 退火工艺 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
束平
供职机构：中国电子科技集团第二十九研究所
研究主题：LTCC基板 焊盘 微电铸 反应离子刻蚀 刻蚀速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张林涛
供职机构：清华大学
研究主题：铁电薄膜 微麦克风 PZT 铁电 扬声器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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