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国际科技合作与交流专项项目(2011DFA72370)
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相关作者:
王玉朝
滕霖
余才佳
王刚
郭志想
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西安飞行自动控制研究所
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王玉朝
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:品质因数 时延 扫频法 真空封装 差分电容
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滕霖
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:抛光 基片 光学表面 功率谱密度 超光滑表面
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余才佳
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:微机电系统 闭环 MEMS加速度计 加速度计 品质因数
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王刚
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:品质因数 时延 扫频法 真空封装 叉式
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郭志想
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:MEMS 高动态 品质因数 时延 扫频法
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徐林鹏
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:差分电容 硅微加速度计 检测电路 微加速度计 调制解调
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田蕊
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:MEMS 刚度 微机电系统 自动增益控制 锁相环
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宋运康
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:粗糙度 HMDS 微型加速度计 MEMS 刻蚀工艺
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赵坤帅
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:粗糙度 HMDS 微型加速度计
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王猛
供职机构:西安飞行自动控制研究所
研究主题:差分电容 硅微加速度计 检测电路 微加速度计 调制解调
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