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国家高技术研究发展计划(2003AA302720)

作品数:2 被引量:30H指数:2
相关作者:封松林宋志棠刘波林青刘卫丽更多>>
相关机构:中国科学院汉城大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程中国博士后科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

领域

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主题

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  • 4个等离子体增强
  • 4个等离子体增强...
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  • 2个低温等离子体
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机构

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资助

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传媒

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  • 3个物理
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  • 2个表面技术
  • 2个功能材料

地区

  • 5个上海市
6 条 记 录,以下是 1-6
宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘奇斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 湿法刻蚀 相变材料 相变存储器 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林青
供职机构:汉城大学
研究主题:FABRICATION SI N4 INSULATOR BURIED
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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