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国家高技术研究发展计划(2003AA302720)
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2
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封松林
宋志棠
刘波
林青
刘卫丽
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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刘奇斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 湿法刻蚀 相变材料 相变存储器 电子束曝光
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刘波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 存储器 电阻
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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林青
供职机构:汉城大学
研究主题:FABRICATION SI N4 INSULATOR BURIED
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